規(guī)格
| 項(xiàng)目 | 說(shuō)明 |
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| 分辨率 | 0.10nm(晶格分辨率)
0.18nm(點(diǎn)分辨率) |
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| 加速電壓 | 300kV、200kV*1、100kV*1 |
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| 放大倍率 | 連續(xù)放大模式 | 1,000～1,500,000× |
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| 選區(qū)模式 | 4,000～500,000× |
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| 低倍模式 | 200～500× |
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| 電子槍 | 燈絲 | LaB6(六硼化鑭燈絲，直流加熱) |
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| 燈絲交換 | 自動(dòng)升降式電子槍 |
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| 高壓電纜 | 阻抗電纜 |
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| 照射系統(tǒng) | 透鏡 | 四級(jí)透鏡 |
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| 聚光鏡光闌 | 4孔可變 |
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| 探針尺寸 | 微米束模式：0.05 - 0.2 µm(4級(jí))
納米束模式：1 - 10 nm(4級(jí)) |
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| 電子束傾斜 | ±3° |
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| 成像系統(tǒng) | 透鏡 | 五級(jí)透鏡 |
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| 聚焦 | 圖像搖擺調(diào)整
利用像散監(jiān)視器進(jìn)行正焦補(bǔ)償
聚焦優(yōu)化 |
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| 物鏡光闌 | 4孔可變光闌 |
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| 選區(qū)光闌 | 4孔可變光闌 |
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| 電子衍射 | | 選區(qū)電子衍射
納米探針電子衍射
會(huì)聚束電子衍射 |
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| 相機(jī)長(zhǎng)度 | 250 - 3,000 mm |
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| 樣品室 | 樣品臺(tái) | 5軸優(yōu)中心海帕測(cè)角臺(tái) |
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| 樣品尺寸 | 3mmΦ |
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| 樣品位置追蹤 | X/Y = ±1mm, Z = ±0.3 mm
通過(guò)CPU控制馬達(dá)驅(qū)動(dòng) |
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| 樣品位置顯示 | 自動(dòng)驅(qū)動(dòng)，自動(dòng)跟蹤 |
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| 樣品傾斜 | α = ±15°, β = ±15°
(日立雙傾樣品臺(tái)*2) |
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| 防污染 | 冷阱 |
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| 烘烤功能 | 中溫烘烤功能 |
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| 觀察室 | 熒光屏 | 主屏：110 mmΦ
聚焦屏：30 mmΦ |
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| 目鏡 | 7.5× |
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| 照相室 | 區(qū)域選擇 | 整張照相/半張曝光 |
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| 膠片 | 25張(2套膠片盒) |
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| 圖形用戶界面 | | 操作系統(tǒng)：Windows XP® |
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| 顯示器 | 19英寸顯示器 |
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| 功能 | 數(shù)據(jù)庫(kù)，測(cè)量，圖像處理 |
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| 數(shù)碼CCD 相機(jī)*3 | 相機(jī)耦合 | 透鏡耦合 |
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| 有效像素 | 1,024 × 1,024 像素 |
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| A/D 分辨率 | 12位 |
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| 真空系統(tǒng) | 電子槍 | 離子泵：60 L/s |
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| 鏡筒 | 渦輪分子泵：260 L/s |
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| 觀察室/照相室 | 擴(kuò)散泵：280 L/s
前級(jí)泵：135 L/min × 3臺(tái) |
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- *1
- ：放大倍率校準(zhǔn)為可選項(xiàng)
- *2
- ：可選件
- *3
- ：本規(guī)格適用于可選的1,024 × 1,024像素的數(shù)碼CCD相機(jī)
以上規(guī)格是在加速電壓為300 kV時(shí)的承諾
