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環(huán)境型原子力顯微鏡 AFM5300E

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AFM5300E是一款環(huán)境型原子力顯微鏡，它的環(huán)境控制單元可以使樣品在大氣中、真空中、溶液中等環(huán)境中進(jìn)行測量。AFM5300E還具有高低溫控制功能，可以檢測溫度對樣品表面形貌和物理特性的影響。

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環(huán)境型原子力顯微鏡 AFM5300E

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環(huán)境型原子力顯微鏡 AFM5300E

AFM5300E是一款環(huán)境型原子力顯微鏡，它的環(huán)境控制單元可以使樣品在大氣中、真空中、溶液中等環(huán)境中進(jìn)行測量。AFM5300E還具有高低溫控制功能，可以檢測溫度對樣品表面形貌和物理特性的影響。

  • 特點(diǎn)

  • 規(guī)格

  • 應(yīng)用數(shù)據(jù)

特點(diǎn)

1. 環(huán)境控制功能（大氣，真空，液體，溫控等）

AFM5300E能夠?qū)崿F(xiàn)高真空的測試環(huán)境，大限度減小樣品表面吸附水對測試的影響，實(shí)現(xiàn)精確的物理特性測量。 真空環(huán)境下可以實(shí)現(xiàn)更大范圍的溫度控制。
（3857581號、3926638號）

●大氣中　●液體中　●真空中　●特殊氣氛（流量控制）
●溫度控制 加熱?冷卻(-120～300℃)　高溫(室溫～800℃)
●濕度控制(0～80%)

2. 簡便操作（綜合型Holder Flange）

通過采用『綜合型Holder Flange開合功能』，樣品和掃描器更換更為方便的同時(shí)，免去了以往環(huán)境型SPM的樣品更換后的所需的光軸調(diào)整。 也省去測試模式切換時(shí)的支架更換環(huán)節(jié)。

3. 的高性能

采用了『Swing Cancel功能』，減輕了樣品的浮動(dòng)，降低了漂移。提高了納米分析性能，提升了可信度。

4. 通過減輕表面吸附水的影響，提高了電氣性能的檢測精度

真空環(huán)境下減輕樣品表面吸附的水分和污染物的影響，因而實(shí)現(xiàn)高分辨高靈敏的電學(xué)性能分析。

 

規(guī)格

規(guī)格
分辨率原子相
樣品尺寸20 mmφ、厚度10 mm (用配件厚度擴(kuò)展至20 mm)
樣品移動(dòng)范圍X-Y stage 5 mm
掃描范圍標(biāo)準(zhǔn)： 20 µm□/1.5 µmH
• 150 µm□/5 µmH
• 15 µm□/1.5 µmH（閉環(huán)差控制）
定位顯微鏡 • 簡易顯微鏡（×200倍）
• 光學(xué)顯微鏡（×1000倍）
• 變焦顯微鏡（×700倍）
• 金相顯微鏡（裝有微分干渉）（×2000倍）
檢測功能
  • AFM（接觸模式）
  • DFM（輕敲模式）
  • PM（相位）
  • FFM（摩擦）
  • MFM（磁力）
  • SIS模式
  • LM-FFM（橫向摩擦）
  • VE-AFM/DFM（粘彈性）
  • Adhesion（吸附力）
  • CURRENT（電流）
  • SSRM（擴(kuò)展抵抗）
  • SNDM（非線性介電常數(shù)）
  • PRM（壓電響應(yīng)）、KFM（表面電位）
  • 液體中AFM/DFM
  • EC-AFM/STM
  • NanoIndentation（硬度）
  • Nano-TA（微區(qū)加熱）
選配件高溫加熱樣品臺
加熱冷卻兼用樣品臺
冷卻真空
溫度控制

應(yīng)用數(shù)據(jù)

  • Nd-Fe-B永磁鐵的離子研磨-SEM-SPM聯(lián)用觀察(PDF格式、705kBytes)
  • SEM&SNDM對摻雜濃度進(jìn)行分析(PDF格式、735kBytes)
  • SNDM功能觀察SiC器件截面的摻雜濃度(PDF格式、792kBytes)
  • SEM和SPM聯(lián)用在橡膠材料研究方面的應(yīng)用(PDF格式、876kBytes)
  • 大氣和真空環(huán)境下SPM測量樣品功函的差異(PDF格式、422kBytes)
  • 離子研磨儀在Nd-Fe-B磁鐵的SPM觀察中的應(yīng)用(PDF格式、922kBytes)
  • 離子研磨儀在鋰離子電池的掃描探針顯微鏡觀察中的應(yīng)用(PDF格式、752kBytes)
  • 鋰離子電池電極材料通過真空轉(zhuǎn)移系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)離子研磨截面加工?SEM-SPM同一視野觀察(PDF格式、1302 kBytes)

應(yīng)用數(shù)據(jù)

介紹掃描探針顯微鏡的應(yīng)用數(shù)據(jù)。

說明

解說掃描式隧道顯微鏡（STM）和原子力顯微鏡（AFM)等的原理和各種狀態(tài)原理。

歷史和SPM發(fā)展

描述我們的掃描探針顯微鏡和我們的設(shè)備的歷史和發(fā)展。(Global site)


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