用于測(cè)量薄膜和微小區(qū)域的熱發(fā)射率
特征
- 熱物理特性顯微鏡是一種測(cè)量熱效率的設(shè)備，熱效率是熱物理特性值之一。
- 它是一種可以通過點(diǎn)，線和表面來測(cè)量樣品的熱性能的設(shè)備。
- 還可以測(cè)量微米級(jí)的熱物理性質(zhì)分布，這是常規(guī)熱物理性質(zhì)測(cè)量裝置所難以做到的。
- 它是世界上可對(duì)熱物理性質(zhì)進(jìn)行非接觸式和高分辨率測(cè)量的設(shè)備。
- 3μm的檢測(cè)光斑直徑可實(shí)現(xiàn)微小區(qū)域的高分辨率熱物理性質(zhì)測(cè)量（點(diǎn)/線/表面測(cè)量）。
- 由于可以通過改變深度范圍進(jìn)行測(cè)量，因此可以測(cè)量從薄膜/多層膜到塊狀材料。
- 您也可以在板上測(cè)量樣品。
- 激光非接觸式測(cè)量。
- 可以檢測(cè)薄膜下的裂縫，空隙和剝離。
熱物理顯微鏡的測(cè)量原理（概述）
在樣品上形成金屬薄膜，并用加熱激光器定期加熱。
- 由于金屬的反射率具有隨表面溫度變化的性質(zhì)（熱電阻法），因此通過捕捉與加熱激光同軸照射的檢測(cè)激光的反射強(qiáng)度的變化，來測(cè)量表面的相對(duì)溫度變化。做。
- 熱量從金屬薄膜傳播到樣品，導(dǎo)致表面溫度響應(yīng)的相位延遲。該相位延遲取決于樣品的熱性質(zhì)。通過測(cè)量加熱光和檢測(cè)光之間的相位延遲來獲得熱效率。
主要規(guī)格
| 名稱/產(chǎn)品名稱 | 熱物理特征顯微鏡/熱顯微鏡 |
|---|---|
| 測(cè)量方式 | 熱物理性質(zhì)分布測(cè)量（1D，2D，1點(diǎn)） |
| 測(cè)量項(xiàng)目 | 熱效率，（熱擴(kuò)散率），（熱導(dǎo)率） |
| 檢測(cè)光斑直徑 | 約3μm |
| 1點(diǎn)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)時(shí)間 | 10秒 |
| 待測(cè)薄膜 | 厚度幾百納米到幾十微米 |
| 重復(fù)精度 | 耐熱玻璃和硅的熱效率小于±10％ |
| 樣本 | 1.樣品架30 mm x 30 mm厚度5 mm 2.板狀樣品30 mm x 30 mm以下且3 mm以下
|
| 工作溫度極限 | 24°C±1°C（根據(jù)設(shè)備中內(nèi)置的溫度傳感器） |
| 平臺(tái)移動(dòng)距離 | ? X軸方向20mm ? Y軸方向20mm ? Z軸方向10mm |
| 激光加熱 | 半導(dǎo)體激光波長(zhǎng)：808nm |
| 激光檢測(cè) | 半導(dǎo)體激光波長(zhǎng)：658nm |
| 電源 | 交流100V 1.5kVA |
| 標(biāo)準(zhǔn)配件 | 樣品架，參考樣品 |
| 選項(xiàng) | 光學(xué)平臺(tái)，空調(diào)，空調(diào)房，濺射設(shè)備 |
- 性能和外觀如有更改，恕不另行通知。
