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UL1000 氦質(zhì)譜檢漏儀

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具體成交價以合同協(xié)議為準

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在檢測低至 10-12 atm cc/s 泄漏的穩(wěn)定性和敏感度方面具有新的表現(xiàn)

詳細信息 在線詢價

 

Ø CAL（智能漏率計演算）確保在全部測量范圍內(nèi)閃電般的快速響應(yīng)
Ø 可旋轉(zhuǎn)顯示器/控制界面和可選遙控手持控制器提高操作的靈活性
Ø 更為方便的移動式
Ø 連接口均位于一側(cè)
Ø 可靠性更高的真空系統(tǒng)
Ø 通過軟件升級可始終保持UL1000的*性能
Ø 離子源三年保修期
應(yīng)用：
Ø 半導(dǎo)體工藝設(shè)備的維護，該設(shè)備本身帶或未帶有真空泵
Ø 工藝氣體系統(tǒng)的檢測與安裝
Ø 元器件在組裝前的漏率測試
Ø 要求高抽速、高靈敏度以及清潔測試條件的應(yīng)用場合
技術(shù)參數(shù)

zui小可檢漏率（按AVS2.1和EN1518標準）
＜5×10-12mbar.l/s
zui小可檢漏率（吸入器模式）
＜3×10-8mbar.l/s
入口壓強                粗檢模式
                        精檢模式
                        超精檢模式
15 mbar
2 mbar
0.4 mbar
在抽空過程中的抽速
25立方米/小時
入口壓強對氦氣抽速      粗檢模式
                        精檢模式
                        超精檢模式
8 升/秒
7升/秒
2.5升/秒
可檢質(zhì)量數(shù)
2、3、4amu, 氫，3氦，氦
電源電壓
110－120V；220－241V
重量
110公斤；242磅
尺寸，包括手把（長×寬×高）
1068×525×850毫米


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