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XTC/3 薄膜沉積控制器

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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詳細(xì)信息 在線詢價

功能

  • 提供有單層和多層型號
  • ModeLock 技術(shù)可避免跳模引起的薄膜厚度誤差
  • 支持 INFICON Crystal 12®、Crystal Six® 及雙傳感器自動晶體轉(zhuǎn)換,從而大化生產(chǎn)力
  • XTC/3M 多層型號多支持 99 個過程、999 層薄膜、32 種薄膜材料、2 個傳感器和兩種源
  • XTC/3S 單層型號多支持 9 種薄膜、2 個傳感器和兩種源
  • 易于閱讀的 TFT LCD 圖形顯示器
  • 可以為薄膜和過程分配的描述性名稱,以便于檢索
  • 提供以太網(wǎng)連接
  • 獨(dú)立式(不需要計算機(jī))或便于 PC 操作的可選 Windows® 軟件
  • 插拔式替換 INFICON XTC/2 控制器(受限于 XTC/2 功能和命令集)

典型應(yīng)用

  • 光學(xué)鍍膜

新聞

XTC/3 前面板已根據(jù) INFICON
公司的新標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行重新設(shè)計。

XTC/3M 是款帶有此新設(shè)計的薄膜產(chǎn)品并
已裝配在當(dāng)前銷售的新產(chǎn)品中。XTC/3S 的新型前面板設(shè)計
將于 2013 年末開始發(fā)貨。其他薄膜產(chǎn)品的前面板
將在 2014 年和 2015 年進(jìn)行更新。

規(guī)格

類型 XTC3/S XTC3/M
頻率分辨率 ±0.028 Hz @ 6 MHz
±0.028 Hz @ 6 MHz
測量頻率范圍 6.0 to 5.0 MHz (fixed) 6.0 to 5.0 MHz (fixed)
測量周期 0.25 seconds 0.25 seconds
厚度和速率分辨率/測量 (1) ±0.034 ? ±0.034 ?
測量技術(shù) ModeLock ModeLock
過程數(shù)量 1 99
層數(shù) 1 999
材料計劃(或薄膜)數(shù)量 9 32
傳感器輸入數(shù)量 2 2
CrystalSix / Crystal 12 傳感器支持 Yes Yes
支持 XTAL 2 開關(guān) Yes Yes
來源輸出數(shù)量 2 2
計算機(jī)通信 RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional
大 RS232 波特率 115.2 KBaud 115.2 KBaud
自動晶體轉(zhuǎn)換 Yes Yes
繼電器數(shù)量 12, Not Event Assignable 12, Event Assignable
可編程繼電器功能數(shù)量 1 1
每個繼電器的功能 1 1
繼電器額定電壓 30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps 30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps
輸入數(shù)量 8 TTL, 24VDC Max 8 TTL, 24VDC Max
可編程輸入功能數(shù)量 1, Not Event Assignable 1, Event Assignable
記錄器輸出數(shù)量 1 1
手動電源 / 手持控制器 Yes Yes
排氣管風(fēng)扇 No Exhaust Fan No Exhaust Fan
測試模式 Yes Yes
閘門延遲 Yes Yes
二次成型模具 Yes Yes
外殼尺寸 half rack, 2U high half rack, 2U high
速率和厚度顯示分辨率 0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A 0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A
通過輸入選擇膜 Yes No
用戶指南語言 English, Chinese English, Chinese
控制環(huán)路 PID PID
用于從 PC 操作的軟件 Yes Yes
數(shù)據(jù)記錄 Yes Yes
質(zhì)量和穩(wěn)定性功能 Yes Yes
采樣保持 (RateWatcher™) Yes Yes
坩堝選擇 Yes Yes
坩堝反饋輸入 Yes Yes
選擇控制電壓極性 Yes, +/- 2.5, 5, 10 Volts; 15-bit Resolution Yes, +/- 2.5, 5, 10 Volts; 15-bit Resolution
程序鎖定碼 Yes Yes
帶圖形的顯示器 Yes Yes
用戶標(biāo)記過程(手機(jī)式字母數(shù)字輸入) No No
用戶標(biāo)記膜(手機(jī)式字母數(shù)字輸入) No No
傳輸傳感器控制 Yes Yes
XTC/2 RS232 通信兼容性 Yes (limited) Yes (limited)

(1) 工具/密度 = 100/1,基礎(chǔ)頻率 = 6 兆赫茲

XTC3M-S_OrderChart_2013_web-01.png

附件

名稱 說明
前裝式單傳感器
前裝式雙傳感器
炫酷抽屜單傳感器
炫酷抽屜雙傳感器
薄型雙傳感器
UHV 可烘烤傳感器
濺射傳感器
CrystalSix® 傳感器
Crystal 12® 傳感器
Easy Rate Single Sensor
RSH-600 旋轉(zhuǎn)式傳感器
零件號 明細(xì)
780-700-G1 Ethernet Module, XTC/3
755-262-G1 Handheld Power Controller
780-702-G1 單件機(jī)架安裝套件 – 提供將單臺 XTC/3 安裝到標(biāo)準(zhǔn) 19 in. 機(jī)架上需要的所有材料
780-702-G2 兩件機(jī)架安裝套件 – 提供將兩臺 XTC/3 并排安裝到標(biāo)準(zhǔn) 19 in. 機(jī)架上需要的所有材料
779-220-G1 CrystalTwo 開關(guān),15.2 cm (6 in.) BNC 電纜
779-220-G2 CrystalTwo 開關(guān),50.8 cm (20 in.) BNC 電纜
Oscillator kits (包括振蕩器和電纜)
780-611-G15 帶 5 ft. (4.6 m) 電纜的XIU PKG – 與 XTC/3 結(jié)合使用
780-611-G30 帶 30 ft. (9.1 m) 電纜的XIU PKG – 與 XTC/3 結(jié)合使用
780-611-G50 帶 50 ft. (15.2 m) 電纜的XIU PKG – 與 XTC/3 結(jié)合使用
780-611-G100 帶 100 ft. (30.5 m) 電纜的XIU PKG – 與 XTC/3 結(jié)合使用
780-612-G15 帶 15 ft. (4.6 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 4 m 真空電纜和 6 in. BNC(XIU 至饋入件)電纜 – 與 XTC/3 結(jié)合使用
780-612-G30 帶 30 ft. (9.1 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 4 m 真空電纜和 6 in. BNC(XIU 至饋入件)電纜 – 與 XTC/3 結(jié)合使用
780-612-G50 帶 50 ft. (15.2 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 4 m 真空電纜和 6 in. BNC(XIU 至饋入件)電纜 – 與 XTC/3 結(jié)合使用
780-612-G100 帶 100 ft. (30.5 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 4 m 真空電纜和 6 in. BNC(XIU 至饋入件)電纜 – 與 XTC/3 結(jié)合使用
780-613-G15 帶 15 ft. (4.6 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 3.5 m 真空電纜和 20 in. BNC(XIU 至饋入件)電纜 – 與 XTC/3 結(jié)合使用
780-613-G30 帶 30 ft. (9.1 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 3.5 m 真空電纜和 20 in. BNC(XIU 至饋入件)電纜 – 與 XTC/3 結(jié)合使用
780-613-G50 帶 50 ft. (15.2 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 3.5 m 真空電纜和 20 in. BNC(XIU 至饋入件)電纜 – 與 XTC/3 結(jié)合使用
780-613-G100 帶 100 ft. (30.5 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 3.5 m 真空電纜和 20 in. BNC(XIU 至饋入件)電纜 – 與 XTC/3 結(jié)合使用
Oscillator Only (未隨附電纜)
780-600-G1 XTC/3 XIU(振蕩器)- 用于長度為 6 in. 至 72 in.(15 cm 至 183 cm)的 XIU 至傳感器頭部電纜
780-600-G2 XTC/3 XIU(振蕩器)- 用于長度為 118 in. 至 157 in.(3 m 至 4 m)的 XIU 至傳感器頭部電纜
Cables
755-257-G6 15.2 厘米(6 英寸)BNC 電纜,XIU 至真空饋入件
600-1261-P15 4.6 米(15 英尺)電纜,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
600-1261-P30 9.1 米(30 英尺)電纜,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
600-1261-P50 15.2 米(50 英尺)電纜,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
600-1261-P100 30.5 米(100 英尺)電纜,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU

耗材

名稱 說明
石英監(jiān)控器晶體

手冊

手冊

目錄

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