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濺射傳感器

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  • 概述
  • 規(guī)格
  • 零件號
  • 附件
  • 耗材
  • 備件
  • 下載

功能

  • 鍍金鈹銅傳感器體和冷卻管可實(shí)現(xiàn)冷卻效果
  • 磁鐵可偏轉(zhuǎn)自由電子,使其遠(yuǎn)離監(jiān)控器晶體
  • 利用可彎曲的水管輕松安裝,靈活放置傳感器
  • 后裝式晶體插入便于更換晶體

規(guī)格

類型 Sputtering Sensor
無水時(shí)的烘烤溫度 105°C
小水流時(shí)的工作等溫環(huán)境溫度 400° C
尺寸(大外殼) 1.36 in. OD x 0.69 in. high (3.45 cm x 1.75 cm)
水、空氣和同軸長度 Standard 30 in. (76.2 cm)
晶體交換 Rear-loading
安裝 Customer supplied
安裝要求  
饋入件

2 pass water with coax connector

2¾ in. ConFlat® Flange – IPN 002-043

1 in. Bolt – IPN 002-042

 

其他

1) Customer to provide vacuum-tight braze joints or connectors for the water tubes.

2) XIU or Oscillator designed to interface with the specific deposition controller.

水流速 Minimum water flow 750 cc/min, 30° C max (Do not allow to freeze) Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur. If the water tube passes through a cryoshroud, drain the tubes if the water flow is stopped for any reason.
材料  
主體和支架 Au plated Be-Cu
彈簧、電氣觸點(diǎn) Au plated Be-Cu
水管 Au plated Be-Cu, 0.125 in. (0.32 cm) O.D.
連接器 304 Stainless steel
絕緣體 99% Al2O3
電線 Teflon® insulated copper
焊料 Cadmium free silver and indium alloys
晶體 0.550 in. (1.4 cm) Diameter
磁鐵 ALNICO 5 Alloy
可選閘門組件 750-005-G1 規(guī)格:  
溫度 130° C
1 in. 螺栓和 Ultra-Torr(壓縮接頭)端接:  
材料 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel, VITON®
溫度 Operational environment to 300oC with water cooling or 165oC without
安裝 1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture
CF 40 焊接式端接:  
材料 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel
溫度 Operational environment to 450oC with water cooling or 165oC without
安裝 Mates with 2 ? in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min.

零件號

Sputtering Sensor
零件號 明細(xì)
750-618-G1 濺射傳感器(僅傳感器,不包括饋入件)

附件

名稱 說明
QCM 傳感器饋入件 QCM 傳感器饋入件
Sputtering Sensor
零件號 明細(xì)
750-005-G1 用于濺射傳感器的氣動(dòng)閘門組件(僅閘門組件,不包括傳感器)
750-420-G1 電磁閥,24 伏(與帶閘門和多晶體傳感器配合使用)

耗材

名稱 說明
石英監(jiān)控器晶體 石英監(jiān)控器晶體

備件

Sputtering Sensor
零件號 明細(xì)
007-023 陶瓷夾持器
007-049 Crystal Holder, Sputtering Sensor
007-007 止動(dòng)彈簧(用于晶體支架)
007-047 Front Cover, Sputtering Sensor
007-009 DET, MAGNET
070-0440 Z5-1 RETAINING RING,SS,PIC
070-0442 定位環(huán)(安裝到閘門組件的軸上)
070-0441 Spacer, B4-4, Stainless Steel
082-044 Teflon 螺釘(用于片簧)
082-029-P1 SCREW 2-56 x .125 LG SOC SET SCR SS
750-009-P2 COVER, PIVOT FINISHED
750-046-G2 SPUTTER SHUTTER WELD ASM FIN @
750-048-P1 Retainer Spring, CrystalSix
750-115-P4 聯(lián)軸器(安裝到波紋管組件)
750-169-P4 用于氣動(dòng)閘門組件的波紋管組件
750-174-P2 母型同軸
750-175-P1 絕緣體(片簧下面)
750-188-P3 片簧
008-007 CRYSTAL SNATCHER
750-619-G1 Body, Sputtering Sensor
750-626-P1 Spring, Crystal 12 and Sputtering Sensor
In-vacuum cables
321-039-G12 真空電纜,15.2 厘米(6 英寸)
007-252 真空電纜,30.5 厘米(12 英寸)
321-039-G11 真空電纜,61.0 厘米(24 英寸)
007-044 真空電纜,78.1 厘米(30.75 英寸)
007-059 真空電纜,91.4 厘米(36 英寸)
007-061 真空電纜,121.9 厘米(48 英寸)- 需要 ModeLock 控制器
321-039-G13 真空電纜,154.2 厘米(60 英寸)- 需要 ModeLock 控制器
321-039-G14 真空電纜,182.9 厘米(72 英寸)- 需要 ModeLock 控制器
321-039-G15 真空電纜,3.5 米(137.8 英寸)- 需要 ModeLock 控制器和4 米 XIU
321-039-G16 真空電纜,4 米(157.5 英寸)- 需要 ModeLock 控制器和4 米 XIU

數(shù)據(jù)表

  • Sputtering Sensor Datasheet (English) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|

手冊

  • Sputtering Sensor Operating Manual (English) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|

目錄

  • Thin Film Catalog (English) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|
  • 薄膜目錄 |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|

其他文件

  • Sputtering Sensor Shutter Installation Instructions (English) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|


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