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參考價(jià) | 面議 |
- 公司名稱 英??担◤V州)真空儀器有限公司
- 品牌
- 型號
- 所在地
- 廠商性質(zhì) 其他
- 更新時(shí)間 2021/2/3 15:57:10
- 訪問次數(shù) 476
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功能
規(guī)格
類型 | Sputtering Sensor | |
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無水時(shí)的烘烤溫度 | 105°C | |
小水流時(shí)的工作等溫環(huán)境溫度 | 400° C | |
尺寸(大外殼) | 1.36 in. OD x 0.69 in. high (3.45 cm x 1.75 cm) | |
水、空氣和同軸長度 | Standard 30 in. (76.2 cm) | |
晶體交換 | Rear-loading | |
安裝 | Customer supplied | |
安裝要求 | ||
饋入件 | 2 pass water with coax connector 2¾ in. ConFlat® Flange – IPN 002-043 1 in. Bolt – IPN 002-042
| |
其他 | 1) Customer to provide vacuum-tight braze joints or connectors for the water tubes. 2) XIU or Oscillator designed to interface with the specific deposition controller. | |
水流速 | Minimum water flow 750 cc/min, 30° C max (Do not allow to freeze) Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur. If the water tube passes through a cryoshroud, drain the tubes if the water flow is stopped for any reason. | |
材料 | ||
主體和支架 | Au plated Be-Cu | |
彈簧、電氣觸點(diǎn) | Au plated Be-Cu | |
水管 | Au plated Be-Cu, 0.125 in. (0.32 cm) O.D. | |
連接器 | 304 Stainless steel | |
絕緣體 | 99% Al2O3 | |
電線 | Teflon® insulated copper | |
焊料 | Cadmium free silver and indium alloys | |
晶體 | 0.550 in. (1.4 cm) Diameter | |
磁鐵 | ALNICO 5 Alloy | |
可選閘門組件 750-005-G1 規(guī)格: | ||
溫度 | 130° C | |
1 in. 螺栓和 Ultra-Torr(壓縮接頭)端接: | ||
材料 | 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel, VITON® | |
溫度 | Operational environment to 300oC with water cooling or 165oC without | |
安裝 | 1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture | |
CF 40 焊接式端接: | ||
材料 | 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel | |
溫度 | Operational environment to 450oC with water cooling or 165oC without | |
安裝 | Mates with 2 ? in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min. |
零件號
Sputtering Sensor | |
---|---|
零件號 | 明細(xì) |
750-618-G1 | 濺射傳感器(僅傳感器,不包括饋入件) |
附件
名稱 | 說明 |
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QCM 傳感器饋入件 | QCM 傳感器饋入件 |
Sputtering Sensor | |
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零件號 | 明細(xì) |
750-005-G1 | 用于濺射傳感器的氣動(dòng)閘門組件(僅閘門組件,不包括傳感器) |
750-420-G1 | 電磁閥,24 伏(與帶閘門和多晶體傳感器配合使用) |
耗材
名稱 | 說明 |
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石英監(jiān)控器晶體 | 石英監(jiān)控器晶體 |
備件
Sputtering Sensor | |
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零件號 | 明細(xì) |
007-023 | 陶瓷夾持器 |
007-049 | Crystal Holder, Sputtering Sensor |
007-007 | 止動(dòng)彈簧(用于晶體支架) |
007-047 | Front Cover, Sputtering Sensor |
007-009 | DET, MAGNET |
070-0440 | Z5-1 RETAINING RING,SS,PIC |
070-0442 | 定位環(huán)(安裝到閘門組件的軸上) |
070-0441 | Spacer, B4-4, Stainless Steel |
082-044 | Teflon 螺釘(用于片簧) |
082-029-P1 | SCREW 2-56 x .125 LG SOC SET SCR SS |
750-009-P2 | COVER, PIVOT FINISHED |
750-046-G2 | SPUTTER SHUTTER WELD ASM FIN @ |
750-048-P1 | Retainer Spring, CrystalSix |
750-115-P4 | 聯(lián)軸器(安裝到波紋管組件) |
750-169-P4 | 用于氣動(dòng)閘門組件的波紋管組件 |
750-174-P2 | 母型同軸 |
750-175-P1 | 絕緣體(片簧下面) |
750-188-P3 | 片簧 |
008-007 | CRYSTAL SNATCHER |
750-619-G1 | Body, Sputtering Sensor |
750-626-P1 | Spring, Crystal 12 and Sputtering Sensor |
In-vacuum cables | |
321-039-G12 | 真空電纜,15.2 厘米(6 英寸) |
007-252 | 真空電纜,30.5 厘米(12 英寸) |
321-039-G11 | 真空電纜,61.0 厘米(24 英寸) |
007-044 | 真空電纜,78.1 厘米(30.75 英寸) |
007-059 | 真空電纜,91.4 厘米(36 英寸) |
007-061 | 真空電纜,121.9 厘米(48 英寸)- 需要 ModeLock 控制器 |
321-039-G13 | 真空電纜,154.2 厘米(60 英寸)- 需要 ModeLock 控制器 |
321-039-G14 | 真空電纜,182.9 厘米(72 英寸)- 需要 ModeLock 控制器 |
321-039-G15 | 真空電纜,3.5 米(137.8 英寸)- 需要 ModeLock 控制器和4 米 XIU |
321-039-G16 | 真空電纜,4 米(157.5 英寸)- 需要 ModeLock 控制器和4 米 XIU |
數(shù)據(jù)表
手冊
目錄
其他文件
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