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BCG450 大氣壓至超高真空三合一真空計(jì)

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好處

  • BCG450 可節(jié)省成本和工具空間，降低真空測(cè)量?jī)x器的安裝與設(shè)置的復(fù)雜性
  • 壓力超過(guò) 10 Torr 時(shí)壓力測(cè)量不受氣體類(lèi)型限制，可以為任何氣體混合物提供更為可靠的預(yù)抽真空室控制
  • 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)絲極，防止過(guò)早燒毀
  • 高真空皮拉尼自動(dòng)調(diào)節(jié)，減少操作員的干預(yù)
  • 大氣氣壓下壓差測(cè)量消除了大氣壓力變化引起的不確定性
  • 傳感元件帶有板載校準(zhǔn)數(shù)據(jù)，易于更換，可保證再現(xiàn)性
  • 備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場(chǎng)總線(xiàn)接口
  • 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

典型應(yīng)用

  • 對(duì)半導(dǎo)體過(guò)程和預(yù)抽真空室的壓力測(cè)量
  • 工業(yè)鍍膜
  • 在低至超高真空范圍中系統(tǒng)的一般真空測(cè)量和控制

新聞

新！現(xiàn)在提供 ProfiNET 數(shù)字接口！

規(guī)格

類(lèi)型 BCG450
測(cè)量范圍 5×10-10 … 1500
精度  
10-8 … 50 毫巴 % of reading ±15
50 … 950 毫巴 % of reading ±5
950 … 1050 毫巴 % of reading ±2.5
可重復(fù)性  
10-8 … 10-2 毫巴 % of reading 5
熱離子發(fā)射 mbar 2×10-2 (high)
（可選高/低，通過(guò) RS232 / 現(xiàn)場(chǎng)總線(xiàn)） mbar 8×10-3 (low)
除氣 (1)  
p < 7.2="" ×="">-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
壓力，大 bar (absolute) 5
溫度  
運(yùn)行（環(huán)境） °C 0 … +50
貯存 °C -20 … +70
在法蘭處烘烤 °C 80
移除烘烤電子設(shè)備 °C 150
電源電壓 20 … 28
輸出信號(hào)模擬  
輸出信號(hào) V 0 … 10.3
測(cè)量范圍輸出 V 0.774 … 10.3
電壓與壓強(qiáng)之間的關(guān)系 volts per decade 0.75
錯(cuò)誤信號(hào) V 0.3 / 0.5
小負(fù)載 k? 10
接口（數(shù)字）(2) RS232C
連接器 D-Sub, 15-pin, male
電纜長(zhǎng)度，大 (3) m (ft.) 100 (330)
暴露于真空的材料 Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, stainless steel, glass
內(nèi)部容積 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF g 285 / 550
保護(hù)等級(jí) IP30
DeviceNet™  
協(xié)議 DeviceNet™, group 2 slave only
數(shù)據(jù)率開(kāi)關(guān) kBaud 125, 250, 500 or network programmable
電纜長(zhǎng)度 125 kbps m (ft.) 500 (1650)
電纜長(zhǎng)度 250 kbps m (ft.) 250 (825)
電纜長(zhǎng)度 500 kbps m (ft.) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
網(wǎng)絡(luò)規(guī)模 up to 64 nodes per segment
數(shù)字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
可視通信指示器 LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)
技術(shù)規(guī)格 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
設(shè)備類(lèi)型 ''CG'' for combination gauge
I / O 從屬傳訊 polling only
設(shè)定點(diǎn)繼電器： 設(shè)定點(diǎn)數(shù)量 2
設(shè)定點(diǎn)繼電器： 范圍 mbar 1×10-9 … 1400
設(shè)定點(diǎn)繼電器： 繼電器觸點(diǎn) n.o., potential free
設(shè)定點(diǎn)繼電器： 滯后 % of reading 10
設(shè)定點(diǎn)繼電器： 觸點(diǎn)額定值 60
設(shè)定點(diǎn)繼電器： 連接器 D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™ 電源電壓 11 … 25
真空計(jì)電源電壓 20 … 28
DeviceNet™ 連接器 Microstyle, 5-pin
BCG（模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點(diǎn)）連接器 D-Sub, 15-pin, male
Profibus DP  
波特率 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
數(shù)字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
設(shè)定點(diǎn)繼電器： 設(shè)定點(diǎn)數(shù)量 2
設(shè)定點(diǎn)繼電器： 范圍 mbar 1×10-9 … 1400
設(shè)定點(diǎn)繼電器： 繼電器觸點(diǎn) n.o., potential free
設(shè)定點(diǎn)繼電器： 滯后 % of reading 10
設(shè)定點(diǎn)繼電器： 觸點(diǎn)額定值 60
Profibus DP 連接器 D-Sub, 9-pin, female
BCG（模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點(diǎn)）連接器 D-Sub, 15-pin, male
以太網(wǎng)  
以太網(wǎng)協(xié)議 protocol specialized for EtherCAT
通訊標(biāo)準(zhǔn) ETG.5003.1 S (R) V1.1.0: Part 1 Common Device Profile (CDP)ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0: Part 2080: Specific Device Profile (SDP) Vacuum Pressure Gauge
節(jié)點(diǎn)地址 Explicit Device Identification
物理層 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
以太網(wǎng)數(shù)字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Paemission control, degas functionmonitor gauge status, filament statussafe state allows definition of behavior in case of errordetailed alarm and warning information
過(guò)程數(shù)據(jù) Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
(CoE) SDO requests, responses and information
以太網(wǎng)連接件 RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
電纜 shielded Ethernet CAT5e or higher
電纜長(zhǎng)度 m (ft.) ≤100 (330)
Profinet  
Communication protocol protocol specalized for Profinet
Data rate 100 Mbps
Physical layer 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
Digital functions Profinet

read pressure, select Units (Torr, mbar, Pa), emisson control, degas function, monitor gauge status, filament status
Analog function 10 … 10 V anlog output pressure indication
Profinet connector 2 x RJ45, 8-pin (socket), input & output
Profinet Cable Special Ethernet Patch Cable or Crossover Cable, shielded (CAT5e quality or higher)
Cable lenght

<100 m (330 ft)
Cyclic data IO-data
Mailbox (CoE) Profinet configuration, responses and information

1）除氣期間準(zhǔn)確性降低

2）不可同時(shí)使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器和現(xiàn)場(chǎng)總線(xiàn)

3）RS232C 操作 <>

零件號(hào)

BCG450
零件號(hào) 明細(xì)
353-550 BCG450 規(guī)管
353-551 BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R
353-552 BCG450 規(guī)管
353-553 BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R
353-554 BCG450-SP TripleGauge; DN 25 ISO-KF
353-556 BCG450-SP TripleGauge; DN 40 CF-R
353-557 BCG450-SD TripleGauge; DN 25 ISO-KF
353-558 BCG450-SD TripleGauge; DN 40 CF-R.
353-592 BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-593 BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-598 BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-599 BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-517 BCG450-PN Profinet, DN 25 ISO-KF
353-518 BCG450-PN Profinet, DN 40 CF-R
354-492 BCG450 傳感器
354-493 BCG450 Spare measurement systemDN40CF-R.
353-606 BCG450 TripleGauge; W, DN 40 CF-R

附件

BCG450
零件號(hào) 明細(xì)
353-511 BPG400 24V電源
353-512 Baffle for BPG400
211-113 中心圈 with baffle DN 25 KF

備件

BCG450
零件號(hào) 明細(xì)
354-492 BCG450 傳感器
354-493 BCG450 Spare measurement systemDN40CF-R.

數(shù)據(jù)表

手冊(cè)

手冊(cè)

三維步驟文件

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