電子陣列發(fā)生器（EGAs）由數百萬個玻璃管組成，直徑范圍為4-150mm，可產生均勻、密集的電子通量。
電子陣列發(fā)生器（EGAs）與用燈絲制造的電子通量源相比，使用時無需預熱，連續(xù)工作24小時，輸出變化小于1％；產生49C/cm2電荷所產生漂移小于10％。無需維護清潔，發(fā)射能量密度均勻，功耗低，通常不到1w，也是傳統電子腔源的替代方案，可根據要求定制尺寸和形狀。
產品特性
更長的壽命；
冷離子源；
優(yōu)異的穩(wěn)定性；
更大幅面；
低維護。
技術參數
通量密度 | |
電子通量均勻性 | < 1.0x10‐10 A/cm2 (Chevron™ 或者Z‐ Stack 結構) |
電流密度 | 2.0x10‐5 A/cm2 |
通量密度 | 在整個發(fā)射區(qū)域內均勻到10％以內。 |
可用配置 | |
MCP配置 | 單層、雙層（ Chevron™）, 或者三層（Z-stack） |
可用直徑 | 直徑4至150mm 自定義大小 |
產品資料
ChargedBeamProfiling-IPAC2010
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