光電流成像光譜系統(tǒng)
用于材料表面光電流分布特性的激光共聚焦光電流成像光譜系統(tǒng)，帶低溫探針臺(tái)。
光電流成像系統(tǒng)Photocurrent Mapping system 利用了顯微成像掃描技術(shù)，對(duì)樣品表面做一個(gè)快速掃描。產(chǎn)生的光電流信號(hào)通過(guò)探針引到電流源表，再顯示在軟件界面，做成成像圖顯示樣品表面電流分布。
光電流成像系統(tǒng)Photocurrent Mapping System 又稱為掃描光電流顯微成像系統(tǒng)，用來(lái)檢測(cè)材料光電流強(qiáng)度分布的設(shè)備，主要用來(lái)測(cè)量光電材料的光電響應(yīng)信號(hào)和表征材料的光電特征。
Photocurrent Mapping system 光電流成像系統(tǒng)將光電材料對(duì)于光信號(hào)響應(yīng)的不均勻性以可視化和量化的方式顯示出來(lái)。該系統(tǒng)可以研究光電探測(cè)器的量子效率，器件的電阻分布特征，研究太陽(yáng)能電池光生電流的不均勻性，研究器件吸收和電荷生成的微區(qū)特性，以及光電材料界面，半導(dǎo)體結(jié)區(qū)的品質(zhì)分布等。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
超快掃描成像（大于1000譜/S）
超緊湊結(jié)構(gòu)（光電流掃描成像和顯微鏡一體式設(shè)計(jì)）
成本低（客戶僅需要在原來(lái)的探針臺(tái)或者拉曼設(shè)備上做改造就可以，不需要額外購(gòu)買(mǎi)平移臺(tái)，這是振鏡掃描的優(yōu)勢(shì)所在）
可視化和人性化軟件（定制研發(fā)了電流源表輸出和成像掃描視覺(jué)窗口，客戶在一個(gè)界面實(shí)現(xiàn)光電流數(shù)據(jù)和成像mapping的對(duì)比比較方便）
可擴(kuò)展增加其它波長(zhǎng)的激光器，增加拉曼光譜，熒光光譜成像系統(tǒng)等
可增加高低溫恒溫器，鎖相放大器，斬波器等
關(guān)鍵參數(shù)：
激光器（光源） ?
l可配置1~3個(gè)激光器，窄線寬激光器用于拉曼光譜測(cè)試和光電流測(cè)試
l波長(zhǎng)范圍： 400~1550nm （典型的為 VIS: 405nm/532nm/633nm, NIR :1550nm）
l可選配一個(gè)光纖接口用于接入外部激光器光源
l可選配超連續(xù)譜白光激光器（400nm~2400nm）
顯微鏡
l奧林巴斯顯微鏡：BX61 （正置）（可根據(jù)客戶要求選配）
l反射式/透射式LED照明
l物鏡：標(biāo)配（40X， NA=0.75） 選配：多種倍率和超長(zhǎng)焦距物鏡
l透過(guò)率：＞60% （360nm~1000nm）
掃描模塊 ?
l掃描面積：200um×200um
l掃描精度： 小于10nm
l步進(jìn)：＜50nm
l掃描速度：＞1000 譜/秒
電流 ?
l測(cè)量范圍：1pA – 1A
l準(zhǔn)確度： 0.04%
l電流源表：Keithley 2400
探針臺(tái) ?
l可根據(jù)客戶要求定制
其它 ?
l低溫恒溫器（2.2K）/高溫?zé)崤_(tái)（1500℃）
l根據(jù)客戶要求定制探針臺(tái)
l可選配斬波器，前置放大器，鎖相放大器等提高系統(tǒng)靈敏度
探針臺(tái)參數(shù)：
探針臺(tái) 6寸真空吸附卡盤(pán)，
光譜范圍 750px-1到150000px-1
XY方向移動(dòng)范圍 150 x 150mm, 分辨率5um FOV：200µm x 200µm@40X物鏡
Z方向移動(dòng)范圍 上/下10mm, 分辨率1um
探針頭 金，鎢
高精度定位器 PH-C15, 10fA leakage current 4SET
