瑞士CSM儀器公司的超納米壓痕測試儀器專門為要求超高分辨率壓入載荷與位移的*用戶設計制造。

                                          納米壓痕儀（Nanoindentor）

納米壓入測試儀 （0.1 - 500mN）
納米壓入測試儀主要適用于測量納米尺度的硬度與彈性模量，測量結(jié)果通過載荷及壓入深度曲線計算得出，無需應用顯微鏡觀測壓痕面積。納米壓入測試儀可被用于有機或無機、軟質(zhì)或硬質(zhì)材料的檢測分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩繪釉漆，光學薄膜，微電子鍍膜，保護性薄膜，裝飾性薄膜等等。基體可以為軟質(zhì)或硬質(zhì)材料，包括金屬、合金、半導體、玻璃、礦物和有機材料等。

瑞士CSM儀器公司三十年來致力于為材料、物理、機械工作者提供*、精準、全面的材料機械性質(zhì)測試儀器、分析咨詢以及測試服務。我們的主要產(chǎn)品包括：
測量材料硬度和彈性模量的納米級、微米級儀器化壓入測試儀（納米壓痕儀, 顯微壓痕儀）；
界定膜基結(jié)合強度、薄膜抗劃擦能力的納米級、微米級、大載荷劃痕測試儀 （Scratch tester） ；
包括真空、高溫以及線性往復運動等選項的摩擦磨損測試儀、納米摩擦儀 （摩擦磨損試驗機 ；
zui簡便易用的膜厚測試儀；
用于三維成像表征材料表面形貌的原子力顯微鏡 （AFM） 和白光共聚焦顯微鏡 （Confocal Microscope） 。

• 技術(shù)參數(shù)

• zui小有效加載載荷： ?25uN
  zui大有效加載載荷 ?50mN（或100mN, 出廠前設定）
  有效載荷分辨率 ?1nN
  zui小接觸力 ?100nN
  zui大壓痕深度 ?100um
  位移分辨率 ?0.0003nm
  位移信號噪聲水平 ?0.03nm
  位移信號穩(wěn)定水平（或熱漂移） 0.008nm/sec
  加載模式 高精度壓電驅(qū)動加載
  位移測量 三個電容位移傳感器
  符合ISO 14577-1，2，3標準
  加載模式：
  線性加載，連續(xù)加載卸載，二次項加載，恒應變速率加載，位移控制加載
  正弦加載（DMA模式）：
  能夠通過一次壓痕獲得接觸剛度、硬度和彈性模量隨壓痕深度的連續(xù)函數(shù)分布；
  能夠測量材料的儲存模量、損耗模量和阻尼
  能夠在壓入過程中通過反饋系統(tǒng)保持恒定的簡諧位移振幅。
  簡諧力頻率范圍: 1Hz to 200Hz
  
  
  XY 工作臺： 120 x 20 mm ，245 x 120 mm （OPX+）
  XY 工作臺位移分辨率 ：0.25 μm ，0.10 μm （選件）
  光學顯微鏡放大倍率： 200x, 4000x
  光學顯微鏡攝像鏡頭： 彩色 768 x 582*

• 主要特點

• 特點
  主動參比測量設計
  超高熱穩(wěn)定性
  深度與載荷信號的電容傳感器測量
  雙壓電加載裝置（更加可靠的設計）
  雙載荷傳感器（閉環(huán)力反饋系統(tǒng)）
  符合標準ISO 和 ASTM
  集成自動光學測量系統(tǒng)
  帶有反饋系統(tǒng)的載荷加載裝置
  儀器操作系統(tǒng)軟件包

  可擴展選項
  真空或濕度環(huán)境控制
  原子力顯微鏡
  高分辨率工作臺 （精度0.25微米）
  高分辨率CCD光學顯微鏡
  環(huán)境保護罩