稀釋氣質(zhì)量流量計(jì)可控制到0-10SLM；源氣質(zhì)量流量計(jì)可控制到0-100SCCM；2路校準(zhǔn)口入口和1路吹掃口；1路稀釋氣入口，3路輸出口和1路排空口；42個(gè)按鍵薄膜鍵盤；8位數(shù)字輸入/輸出，1路串行輸出；彩色大屏顯示，

儀器特點(diǎn)：

稀釋氣質(zhì)量流量計(jì)可控制到0-10SLM；

源氣質(zhì)量流量計(jì)可控制到0-100SCCM；

2路校準(zhǔn)口入口和1路吹掃口；

1路稀釋氣入口，3路輸出口和1路排空口；

42個(gè)按鍵薄膜鍵盤；

8位數(shù)字輸入/輸出，1路串行輸出；

彩色大屏顯示，

性能參數(shù)：

稀釋入口：1路標(biāo)準(zhǔn)；

源氣入口：1路標(biāo)準(zhǔn)，1路吹掃；

稀釋流量：0-10SLM(0-20SLM可選)；

源氣流量：0-100SCCM（0-2SLM可選）；

流量精度：<1%FS；

流量重復(fù)：<±0.15%FS；

線    性：<±0.5%FS；

入口壓力：12-35PSIG；

集成輸出：3路輸出，1路放空（1路滲透端可選）；

操    作：42按鍵薄膜鍵盤手動(dòng)輸入或外接鍵盤；

校準(zhǔn)定義：20個(gè)工廠配置流路，每個(gè)流路可大20個(gè)線性點(diǎn)；

校準(zhǔn)類型：稀釋氣，臭氧，GPT；

氣體定義：1路稀釋氣，20路源氣；

自動(dòng)校準(zhǔn)：可驅(qū)動(dòng)20路定時(shí)程序，用戶可自定義；

數(shù)字輸入/輸出：可使用觸點(diǎn)觸發(fā)或TTL邏輯控制的8位校準(zhǔn)功能；

通    訊：RS232,以太網(wǎng)TCP/IP可選；

溫    度：5-40℃；

外形尺寸：156mm（H）×364mm(W)×316 mm (D)；重    量：8.6kg；

電    源：98-264VAC，100VA，50/60HZ。