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NX-Hivac NX-Hivac 高真空原子力顯微鏡

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 上海納騰儀器有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào) NX-Hivac
  • 所在地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2020/11/4 18:08:02
  • 訪問(wèn)次數(shù) 141

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Park NX-Hivac通過(guò)為失效分析工程師提供高真空環(huán)境來(lái)提高測(cè)量敏感度以及原子力顯微鏡測(cè)量的可重復(fù)性。與一般環(huán)境或干燥N2條件相比,高真空測(cè)量具有準(zhǔn)確度高、可重復(fù)性好及針尖和樣本損傷低等優(yōu)點(diǎn),因此用戶(hù)可測(cè)量各種故障分析應(yīng)用中許多信號(hào)響應(yīng),例如掃描擴(kuò)散電阻顯微術(shù)(SSRM)的摻雜物濃度。Park NX-Hivac使得真空環(huán)境中高精確度和高分辨率測(cè)量的材料科學(xué)研究遠(yuǎn)離氧氣與其它藥劑的影響,在高真空條件下執(zhí)行掃描擴(kuò)散電阻顯微鏡測(cè)量可減少所需的針尖-樣本相互作用力,從而大幅度降低對(duì)樣本和針尖的損傷。



如此可延長(zhǎng)各針尖的使用壽命,使掃描更加低成本和便捷,并通過(guò)提高空間分辨率和信噪比得到更為精確的結(jié)果。因此,利用NX-Hivac進(jìn)行的高真空掃描擴(kuò)散電阻顯微術(shù)測(cè)量可謂是故障分析工程師增加其吞吐量、減少成本和提高準(zhǔn)確性的明智選擇。


基本技術(shù)參數(shù)

掃描儀

光學(xué)顯微鏡

樣品臺(tái)

XY掃描儀:50 μm x 50 μm

100 μm x 100 μm可選)

物鏡:10x

5M pixel CCD

XY平臺(tái)行程22 mm x 22mm

樣品大?。?/span>50mm x 50mm,厚度20 mm

物理信息

軟件

高真空

真空室:300mm x 420mm x 320mm

SmartScanPark AFM操作軟件

XEI: AFM數(shù)據(jù)分析軟件

Hiva Manager:自動(dòng)真空控制軟件

真空等級(jí):小于 1 x 10-5 torr

泵速:5 min內(nèi)達(dá)到10-5 torr


主要功能

用于失效分析應(yīng)用的高真空掃描

Park NX-Hivac允許故障分析工程師通過(guò)高真空SSRM提高的靈敏和分辨率。高真空掃描能提供比大氣或干燥N2條件下更高的精度,更好的可重復(fù)性,還能減少針尖和樣品損傷 ,用戶(hù)從而可以在失效分析應(yīng)用中測(cè)量更廣闊范圍的涂料濃度和信號(hào)強(qiáng)度,

高級(jí)的自動(dòng)化特征

用戶(hù)所需的輸入操作簡(jiǎn)單,用戶(hù)可以更快地掃描從而提高實(shí)驗(yàn)室的實(shí)驗(yàn)成果。


應(yīng)用

在二維金屬材料電性能方面的研究

C-AFM inAir vs High Vacuum MoS2

在空氣和真空下MoS2 AFM


相關(guān)文獻(xiàn)

Jonathan Ludwig et al,”Effects of buried grain boundaries in multilayerMoS2”Journal:Nanotechnology, Volume 30, Number 28.


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