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KosakaET4000探針式輪廓儀

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KosakaET4000探針式輪廓儀


ET4000具有高精確性、穩(wěn)定性和重復(fù)性，可測量FPD、晶片、磁盤，和與納米材料相關(guān)物件的表面特性、臺階高度和粗糙度等。堅固的花崗巖材料鑄成的機身框架以及支撐部件顯著提高了儀器的重復(fù)精度，并降低了地板噪音對測量的干擾。ET4000為滿足用戶不同應(yīng)用方向的需要提供了多種可選配置，通過選配三維成像附件套裝還可以*地擴充儀器的功能。


1.具有的臺階高度重復(fù)性5Å(1σ)和線性度（垂直線性度：200nm以上為±0.25%；200nm以下為0.5nm）；
2.高分辨率，縱軸大分辨率為0.1nm，橫軸為0.01μm，可精確測量納米級至幾百微米級臺階高度；
3.超高直線度：0.005μm/5mm，可測定微細表面形狀、段差、平面度、粗度、應(yīng)力分析等；
4.低測定力：采用直動力LVDT檢出器，觸針力在0.5μN～500μN范圍可以任意調(diào)節(jié)，可測定軟質(zhì)材料；




5.即時監(jiān)控系統(tǒng)：配置標準CCD，可即時監(jiān)控量測位置；還可選購TopViewCCD，進行高精度定位量測；



6.可擴充成三次元設(shè)備和追加三次元解析軟件，觀察樣品全貌和測定臺階移動量；


7.采用天然金剛石(R2μm)作為探頭，經(jīng)久耐用；




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