美國(guó)API公司XD系列激光干涉儀
1D激光主要可以測(cè)量定位誤差
　　3D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差（雙向）
　　5D/6D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差（雙向）、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角

儀器的溯源性：

API公司XD系列激光干涉儀的各項(xiàng)參數(shù)(線性、直線度、角度)都是溯源到國(guó)家和標(biāo)準(zhǔn)上的。這些精度都經(jīng)過美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)局(NIST)、中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院和德國(guó)PTB等機(jī)構(gòu)的檢驗(yàn)-

攜帶方便、操作簡(jiǎn)單：全套系統(tǒng)重量?jī)H為15千克.可以裝入一個(gè)小型工具箱內(nèi)。由于采用了湊型設(shè)計(jì).XD Laser體積小，測(cè)量機(jī)床時(shí)無需使用三 腳架，使測(cè)量基準(zhǔn)與機(jī)床的加工基準(zhǔn)保持一致，簡(jiǎn)化了測(cè)量程序 (免拆機(jī)床護(hù)罩)。集成干涉鏡與激光器于一體，簡(jiǎn)化了調(diào)整步驟， 減少了調(diào)整時(shí)間，提高了機(jī)床使用效率。

激光干涉儀介紹：
      1D激光主要可以測(cè)量定位誤差
　　3D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差(雙向)
　　5D/6D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差(雙向)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角
技術(shù)參數(shù)：
　　5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型：
　　1. 線性：0.5ppm .
　　2. 測(cè)量范圍：40米(1D可選80米)
　　3. 線性分辨力：0.001um.
　　4. 偏擺角和俯仰角的精度：(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值
　　5. *大范圍：800角秒
　　6. 滾動(dòng)角精度：1.0角秒
　　7. 直線度精度：(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值
　　8. 直線度*大范圍：500um
　　9. 垂直度精度：1角秒
　　10. 溫度精度：0.2攝氏度
　　11.濕度精度：5%
　　12.壓力精度：1mmHg
主要特點(diǎn)：
　　1. 同時(shí)測(cè)量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角
　　2. 設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器
　　3. 可選的無線遙控傳感器*長(zhǎng)的控制距離可到25米
　　4. 可測(cè)量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù)，并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性。
　　5. 全套系統(tǒng)重量?jī)H15公斤，設(shè)計(jì)緊湊、體積小，測(cè)量機(jī)床時(shí)不需三角架
　　6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡(jiǎn)化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時(shí)間

XD Laser被來自世界名地的API用戶用于：
       CMMICNC的校準(zhǔn)、補(bǔ)償
       機(jī)床導(dǎo)軌平行度的測(cè)量
       旋轉(zhuǎn)軸的測(cè)量
       垂直度的測(cè)量
       對(duì)角線的測(cè)量
       CNC反饋
       機(jī)器人位置反饋