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VTC-200P真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī),勻膠機(jī)

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產(chǎn)品簡介:VTC-200P真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。VTC-200P真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)腔體不可抽真空,工作時利用真空盤吸附的方式將樣品固定在載樣盤上,該設(shè)備可儲存12組程序,每組程序包含6個運(yùn)行階段。不同運(yùn)行階段設(shè)備轉(zhuǎn)數(shù)不同,使設(shè)備緩慢提升速度*限速度,有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜,且不會過多浪費(fèi),節(jié)約材料。腔室的上蓋可以對樣品進(jìn)行加熱(可選功能),有利于粘稠度大的薄膜材料的涂覆過程的進(jìn)行。VTC-200P真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)具有操作簡單、清理方便,體積小巧等優(yōu)點(diǎn),主要應(yīng)用于各大專院校、科研院所的實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行薄膜的生成過程。

 

產(chǎn)品名稱

VTC-200P真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

產(chǎn)品型號

VTC-200P

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:設(shè)備配有進(jìn)出水口

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:不需要

4、工作臺:尺寸600mm×600mm×700mm承重50kg以上

5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點(diǎn)

1、設(shè)有12組程序,每組包含6個運(yùn)行階段,每段增減速率設(shè)置范圍:100—2000rpm/s,每段時間范圍:0—60s。

2、真空吸附方式固定樣件,操作簡便

3、吸盤真空度可以達(dá)到-0.08MPa。

4、使用定位工具可將樣件很容易放在中心位置以減少偏心造成震動飛片。

5、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤,更換方便簡單。

6、電機(jī)采用24V直流無刷電機(jī),無級調(diào)速,可靠性高,適應(yīng)性強(qiáng),維修與保養(yǎng)簡單噪音低,震動小,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),啟動快速穩(wěn)定,加速后運(yùn)行平穩(wěn),可以保證涂厚度的一致性和均勻性。

7、本機(jī)可置于手套箱內(nèi)使用,但控制部分與真空泵需置于箱外。

8、可在惰性氣體氣氛(如Ar、N2)下進(jìn)行涂層。

9、采用無油雙杠真空泵,體積小巧、結(jié)構(gòu)簡單、操作容易、維護(hù)方便、不會污染環(huán)境等優(yōu)點(diǎn)。

10、腔體通體采用聚丙烯材質(zhì),使用壽命更長,提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開裂性能。

11、全英文操作系統(tǒng)。

12、具有開蓋保護(hù)功能,當(dāng)涂膜過程中或涂膜結(jié)束時打開上蓋后機(jī)器立刻迅速減速直到停止

13、控制器采用單控制箱,液晶顯示數(shù)值,更直觀可靠。

 

技術(shù)參數(shù)

1、電源:220V   50HZ

2、電機(jī)功率:350W/24V

3、轉(zhuǎn)速:500rpm-6000rpm之間可調(diào)

4.可儲存12組程序,每組程序包含6個運(yùn)行階段,

5、每段增減速率設(shè)置范圍:100 rpm s—2000 rpm /s,每段時間范圍:0-60s

6、吸盤規(guī)格φ100mm

7、本機(jī)可選配加熱功能:加溫范圍RT-100℃

               加熱蓋,水槽及吸盤采用聚丙烯材質(zhì)

               溫度單獨(dú)控制,與主機(jī)程序控制無關(guān)聯(lián)

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:φ250mm×360mm;重量:20kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

φ100mm真空吸盤

 

1

2

O型膠圈

1

3

滴液器

 

1個

4

滴液器支架

1個

5

中心定位器

 

1個

6

無油真空泵 

 

1臺

可選配件

進(jìn)口移液器

 

國產(chǎn)移液槍

 

其它尺寸的真空吸盤

 

 

 

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