庫(kù)賽姆COXEM桌面臺(tái)式掃描電鏡EM-30 PLUS 系統(tǒng)

設(shè)備構(gòu)成
a.光學(xué)系統(tǒng)
光源：自動(dòng)控制，發(fā)叉式鎢絲陰極。
分辨率 ：5.0nm @30kV SE
放大倍數(shù)：20x – 150,000x
加速電壓：1 kV - 30 kV（連續(xù)30檔可調(diào)）
b.樣品室系統(tǒng)
樣品室：6個(gè)接口，可接配內(nèi)外置EDS。
樣品尺寸(大)：直徑60mm， 高度45mm
c. 探測(cè)器系統(tǒng)
SE Detector 二次電子探測(cè)器
BSE Detector 背散射電子探測(cè)器（可伸縮的高靈敏四分割半導(dǎo)體背散射電子探測(cè)器）
d. 控制器
計(jì)算機(jī)系統(tǒng)
圖像管理軟件
e. 真空系統(tǒng)
隔膜泵：MVP 020-3AC
渦輪分子泵真空系統(tǒng): 210 Liter/sec