● 兩個(gè)爐體在一個(gè)滑軌上面，和通過對(duì)爐體的滑動(dòng)達(dá)到對(duì)樣品快速加熱和快速冷卻的效果

● 連續(xù)工作溫度:1100℃

● 兩個(gè)爐體都可以設(shè)置30段升降溫程序

● 輸出頻率: 13.56 MHz ±0.005%

● 大射頻功率: 500W

● 匹配: 自動(dòng)匹配

● 噪音: <50 dB.

● 冷卻: 空氣冷卻

● 輸入電源: 208-240VAC, 單相, 50/60Hz

● 采用VRD-16的雙旋真空泵, 極限真空10E-3 Torr

● KFD25快接，不銹鋼波紋管，手動(dòng)擋板閥與法蘭，真空泵相連

● 管內(nèi)真空可達(dá)10E-2 Torr

● 四個(gè)精密的質(zhì)量流量計(jì)(精度1.5% ) ：數(shù)字顯示，自動(dòng)控制

● MFC1范圍: 0~100 sccm

● MFC2和3: 0~200 sccm

● MFC4范圍: 0~500 sccm

● 一個(gè)混氣罐，底部裝有泄廢液口

● 4 個(gè)不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè)，可手動(dòng)控制4種氣體

● 進(jìn)氣口: 4個(gè)1/4NPS

● 出氣口: 4個(gè) 1/4NPS.

● 采用PLC控制流量計(jì)，通過觸摸屏進(jìn)行控制

● 可選購氣液混合裝置，用于CVD系統(tǒng)

● 高純石英管，尺寸50mm O.D x 44mm I.D x1800 mm L

● 配有一套不銹鋼密封法蘭，并且上面安裝有真空計(jì)

● 輸入電源 24V，1A DC（配有一電壓轉(zhuǎn)換器）

● 測(cè)量范圍 3.8x10-5 -1125 Torr.

● 數(shù)據(jù)顯示 數(shù)字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數(shù)據(jù)顯示單位為torr

● 接頭 KF16 接頭

● 產(chǎn)品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

● 手套箱尺寸：780mm(L) x 700mm(W) x 650mm(H)

● 帶有除水系統(tǒng)：保持水含量< 2 ppm

● 一真空法蘭在手套箱的左邊，與PECVD系統(tǒng)的石英管相連接