當(dāng)前位置：儀器網(wǎng) > 產(chǎn)品中心 > 行業(yè)專用儀器>其它行業(yè)專用儀器>其它> 納米精度六軸位移臺-hexaCUBE
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hexaCUBE位移臺是德國attocube公司生產(chǎn)的能夠提供六個維度高精度移動樣品的集成位移系統(tǒng)。產(chǎn)品在保證優(yōu)異位移精確度與穩(wěn)定性的同時真正實現(xiàn)樣品六個維度的自由移動，適用于大氣，高真空到超高真空環(huán)境，行程可達(dá)15mm。小步50nm，小傾角變化1μrad。產(chǎn)品十分適合為需要多維度高精度定位的實驗提供幫助。
設(shè)備特點
+ 六維度自由移動
+ 厘米級行程，納米級精度的位置控制
+ 閉環(huán)位移器，*機(jī)械穩(wěn)定性
+ 50 nm 線性移動精度，1 μrad 傾角精度
+ 特殊材質(zhì)，兼容各種光學(xué)環(huán)境與超高真空環(huán)境
+ 軟件全自動操控
高穩(wěn)定性
| 行程1mm范圍，高度可重復(fù)性 |
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| 行程1mm范圍，誤差小于50nm |
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| 小范圍內(nèi)，誤差小于10nm |
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標(biāo)準(zhǔn)配件
AMC100位移控制器 + 同時控制六個方向位移； + 完美結(jié)合attocube專門開發(fā)的 hexaCUBE控制軟件； + 兼容Labview； |
基本參數(shù)
產(chǎn)品型號 | hexaCUBE190 |
適用環(huán)境 | 1atm/HV/UHV |
位移器尺寸 | 190×180×105 mm3 |
大負(fù)載 | 700 g |
中心孔距 | 26 mm |
行程 | 線性x方向 ±15 mm 線性y方向 ±15 mm 線性z方向 ±20 mm 傾角x方向 +33/-19° 傾角y方向 ±21° 傾角z方向 ±19° |
精度 | 線性x,y,z方向 50nm 傾角x,y,z方向 1μrad |
材質(zhì) | 鋁，不銹鋼，塑料 |
應(yīng)用軟件
+ 界面直觀 + 六維度點對點控制 + 布局合理 + 精確控制 |
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