高溫四探針測試儀采用四探針雙電測量方法，適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料在高溫、真空及氣氛條件下測量的一種重要的工具。本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料。液晶顯示，無需人工計算，并帶有溫度補償功能。

高溫四探針測試儀

一、產(chǎn)品簡介

 高溫四探針測試儀采用四探針雙電測量方法，適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料在高溫、真空及氣氛條件下測量的一種重要的工具。本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料。液晶顯示，無需人工計算，并帶有溫度補償功能。采用AD芯片控制，恒流輸出，結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便，配備10英寸觸摸屏，軟件可保存和打印數(shù)據(jù)，自動生成報表；本儀器可顯示電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度、電導(dǎo)率，配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項目要求選購。

 雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測量。該儀器設(shè)計符合單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換，進行兩次電測量，對數(shù)據(jù)進行雙電測分析，自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響，它與單電測直線或方形四探針相比，大大提，也可應(yīng)用于產(chǎn)品檢測以及新材料電學(xué)性能研究等用途。

 HGTZ-800系統(tǒng)搭配Labview系統(tǒng)開發(fā)的hcpro軟件，具備彈性的自定義功能，可進行電壓、電流、溫度、時間等設(shè)置，符合導(dǎo)體、半導(dǎo)體材料與其它新材料測試多樣化的需求。

二、產(chǎn)品特點

高速加熱與冷卻方式

 高能量的紅外燈和鍍金反射方式允許高速加熱到高溫。同時爐體可配置水冷系統(tǒng)，增設(shè)氣體冷卻裝置，可實現(xiàn)快速冷卻。

溫度控制

 過紅外鍍金聚焦?fàn)t和溫度控制器的組合使用，可以控制樣品的溫度（遠(yuǎn)比普通加溫方式）。此外，冷卻速度和保持在任何溫度下可提供。

不同環(huán)境下的加熱與冷卻加熱/冷卻

 可用真空、氣氛環(huán)境、低溫（高純度惰性氣體，靜態(tài)或流動），操作簡單，使用石英玻璃制成。紅外線可傳送到加熱/冷卻室。

三、功能特點

1. 多功能真空加熱爐，一體爐膛設(shè)計、可實現(xiàn)、高溫、真空、氣氛環(huán)境下進行測試

2. 采用鉑材料作為導(dǎo)線、以減少信號衰減、提高測試精度；

3. 可以測量半導(dǎo)體薄膜材、薄片材料的方塊電阻、電阻率；

4. 可實現(xiàn)常溫、變溫、恒溫條件的1-V、R-T、R-t等測量功能；

5. 進口溫度傳感器、PID自動溫度控制，使測量溫度更精準(zhǔn)；

6. 儀器可自動計算試樣的電阻率pV；

7. 10寸進口觸摸屏設(shè)計，一體化設(shè)計機械結(jié)構(gòu)，更加穩(wěn)定、可靠；

8. 程控電子升壓技術(shù)，紋波更低、TVS防護系統(tǒng)，保證儀器安全性；

9. 99氧化鋁陶瓷絕緣、碳化鎢探針；

10. Ihuace pro強大的控制分析軟件。

四、軟件功能

 HC5000系列測試系統(tǒng)的軟件平臺hacepro，采用labview系統(tǒng)開發(fā)，符合高分子材料性能的各項測試需求，具備強大的的穩(wěn)定性與安全性，并具備斷電資料的保存功能，圖像資料可保存恢復(fù)，支持新的標(biāo)準(zhǔn)。兼容，XP、win7、win10系統(tǒng)。

多語介面：支持中文/英文 兩種語言界面；

即時監(jiān)控：系統(tǒng)測試狀態(tài)即時瀏覽，無須等待；

圖例管理：通過軟件中的狀態(tài)圖示，立即對狀態(tài)說明，了解測試狀態(tài)；

使用權(quán)限：可設(shè)定使用者的權(quán)限，方便管理；

故障狀態(tài)：軟件具有設(shè)備的故障報警功能。

五、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)

1、整體為桌面型設(shè)計，采用紅外燈加熱，無保溫爐膛結(jié)構(gòu)，滿足實驗室無灰塵排放的要求。

2、內(nèi)置工控機、觸摸屏，可以利用工控機設(shè)定加熱曲線，并實現(xiàn)和其 他測試設(shè)備的集成控

3、定點控溫模式下，可以將樣品10s內(nèi)加熱到1000攝氏度。

4、控溫加熱下，可以5度/s速率下線性加熱到1000攝氏度。

5、在1000度下可以連續(xù)工作時間不低于1小時。

6、采用鉑熱電偶直接測定樣品附近溫度。

7、樣品可以工作在大氣、真空、氣氛環(huán)境下加熱。

8、配備真空泵，水冷設(shè)備，配備超溫、缺水、過流等報警保護裝置。

9、溫度均勻區(qū)：60mm*100mm。

六、技術(shù)指標(biāo)