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轉(zhuǎn)鼓等離子清洗機(jī)/SAT-5D

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轉(zhuǎn)鼓等離子清洗機(jī)/SAT-5D
高頻等離子體(Plasma)
儀器實(shí)現(xiàn)了手動(dòng),自動(dòng)兩種模式任意切換的工作方式,方便用戶實(shí)驗(yàn);實(shí)現(xiàn)了程序化設(shè)計(jì),預(yù)先編輯好程序,儀器可以自動(dòng)完成實(shí)驗(yàn)

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轉(zhuǎn)鼓等離子清洗機(jī)/SAT-5D

高頻等離子體(Plasma

轉(zhuǎn)鼓等離子清洗機(jī)/SAT-5D技術(shù)特點(diǎn): 

1.艙體、管路、閥體全部為不銹鋼材料,耐用、防腐容易清潔。

2.儀器實(shí)現(xiàn)了手動(dòng),自動(dòng)兩種模式任意切換的工作方式,方便用戶實(shí)驗(yàn)

3.儀器實(shí)現(xiàn)了程序化設(shè)計(jì),預(yù)先編輯好程序,儀器可以自動(dòng)完成實(shí)驗(yàn)

4.無需任何耗材使用成本低,無需特殊進(jìn)行維護(hù),日常使用保持儀器清潔即可

5.電容式等離子激發(fā),處理效果均勻,激發(fā)電極板內(nèi)置樣品倉內(nèi)頂部懸掛

6.密閉真空環(huán)境下完成實(shí)驗(yàn)避免二次污染

7.13.56Mhz射頻電源,掃頻自動(dòng)匹配,穩(wěn)定可靠,具有自動(dòng)保護(hù)功能。

8.靈活的參數(shù)設(shè)置和修改功能,可適應(yīng)多種處理工藝。

9.采用皮拉尼真空技術(shù),實(shí)時(shí)檢測(cè)和顯示樣品倉的真實(shí)真空度,具有1Pa的真空分辨率,能夠方便的接入MFC氣體流量控制儀,實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體流量和真空度的精準(zhǔn)控制和監(jiān)測(cè)。

10. 液晶屏+薄膜數(shù)字按鍵控制方式,操作直觀簡單穩(wěn)定可靠。

技術(shù)規(guī)格參數(shù)

型號(hào):SAT-5D

品牌:賽奧特(SAT)

 

不銹鋼/石英艙體

Φ150 mm×L255mm

可以選配石英轉(zhuǎn)鼓用來處理微顆粒以及粉末

工作氣路

兩路,可以選配MFC控制

射頻頻率

13.56MHz

射頻功率

0-150W,可調(diào),掃頻自動(dòng)匹配

控制系統(tǒng)

液晶屏+薄膜數(shù)字按鍵,實(shí)時(shí)顯示和檢測(cè)艙內(nèi)真空度值

時(shí)間范圍

0—99分59秒連續(xù)可調(diào)

工作壓力

樣品倉內(nèi)200Pa以內(nèi)根據(jù)進(jìn)氣量自動(dòng)調(diào)節(jié)

工作氣體

空氣、氧氣、氮?dú)浠旌蠚?、氬氣、氮?dú)饧捌渌栊詺怏w與混合氣體均可

進(jìn)氣壓力

空氣:常壓 連接氣體鋼瓶:0.1-0.3Mpa

工作模式

手動(dòng)模式和程序化自動(dòng)模式

真空泵

抽速:1升到5升每秒

輸入電源

~220V/50Hz

整機(jī)尺寸(D*W*H)

552X590X295mm

重量(約)

28Kg


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