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- 公司名稱 北京征程創(chuàng)拓科技有限公司
- 品牌
- 型號 SPECEI-2000-VIS
- 所在地 國外
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2015/11/25 18:00:00
- 訪問次數(shù) 935
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SPECEI-2000是一款應(yīng)用橢圓偏光原理的臺式薄膜測量系統(tǒng),適用于平面多層膜厚測量,如晶片、玻璃片等。分光橢偏儀可以測量光的多層反射,除了強度之外,也可以測量相對的相位和振幅變化,利用這種技術(shù)可以同時對多種參數(shù)進(jìn)行測量。
和常規(guī)橢偏儀相比,SPECEI-2000橢偏儀要便宜一半左右,并且還具有以下特點,系統(tǒng)集成了光源、導(dǎo)光器件,可旋轉(zhuǎn)的偏光鏡、樣品臺、CCD陣列光譜儀等器件,其光源入射角設(shè)定在70°,但用戶可根據(jù)需要設(shè)定為65到75°,整套儀器想當(dāng)小巧,尺寸僅為52cm*33cm*24cm。
SPECEI-2000橢偏儀的特點:
膜厚準(zhǔn)確度在1nm,精度在0.1nm
可測量多達(dá)25層膜厚
每層膜厚可從0.1nm至8um,450-900nm的光譜范圍
光斑大小為2mm*4mm,光學(xué)分辨率為200um*400um
適合于平面半透明的材料測量,如晶片、玻璃、薄膜和金屬箔等
可選項包括2D位移功能,標(biāo)準(zhǔn)晶片等
附帶的軟件可以非常容易地存儲和載入不同的測量組合模式
SPECEI-2000橢偏儀的技術(shù)指標(biāo):
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