XD Laser激光干涉儀可測(cè)六個(gè)誤差
5D/6D激光干涉儀是API產(chǎn)品，一次安裝能夠同時(shí)測(cè)量線性軸的六個(gè)誤差，包括1個(gè)位置度誤差、2個(gè)直線度誤差、3個(gè)角度誤差。在通常情況下需要數(shù)天時(shí)間進(jìn)行的測(cè)試，使用API激光干涉儀只需幾個(gè)小時(shí)即可完成

XD Laser激光干涉儀的組成：

      XD Laser 激光干涉儀是在LMS激光干涉儀的基礎(chǔ)上進(jìn)行了改進(jìn)。將控制箱集成到激光頭里，將原先的有線數(shù)據(jù)傳輸改為全程無(wú)線數(shù)據(jù)傳輸。因此、XD Laser激光干涉儀是由激光頭、傳感器、氣象站、筆記本電腦和連接整個(gè)系統(tǒng)的電纜組成。

XD Laser激光干涉儀技術(shù)綜述:

    ●1D激光主要可以測(cè)量定位誤差
    ●3D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差（雙向）
    ●5D/6D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差（雙向）、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角

直線度測(cè)量— API XD的方法
應(yīng)用先進(jìn)的PSD技術(shù)：光電位置敏感檢測(cè)器。它可將光敏面上的光點(diǎn)位置轉(zhuǎn)化為電信號(hào))
不怕斷光，可用于導(dǎo)軌的安裝調(diào)試(類似于自準(zhǔn)直儀)
對(duì)直線度進(jìn)行1:1的測(cè)量
可一次性安裝, 與線性誤差一起測(cè)量, 方便, 快速
垂直度測(cè)量— API XD的方法
API XD激光干涉儀是通過PSD技術(shù)1:1進(jìn)行直線度測(cè)量的，所以API干涉儀測(cè)兩軸垂直度時(shí)只需一個(gè)五角棱鏡既可，無(wú)需其他鏡組. 裝/調(diào)非常方便快速
在測(cè)兩軸的垂直度的同時(shí)，兩軸各自的線性定位誤差、直線度，偏擺角、俯仰角都可一次測(cè)出，大大節(jié)省了測(cè)量所占用機(jī)床的時(shí)間，也可避免人為差錯(cuò)。
偏擺角/俯仰角測(cè)量 — API XD的方法:
先進(jìn)的PSD技術(shù)來測(cè)量小角度: 當(dāng)入射光經(jīng)分光鏡射到凸透鏡上后，如果軸無(wú)角度變化，則光線經(jīng)透鏡聚在焦點(diǎn)上；如果軸有角度變化，則光線會(huì)在焦平面上的PSD光靶上得到兩個(gè)方向的坐標(biāo)值，從而與焦距比較得出角度值。
測(cè)量角度過程中不怕斷光, 可用于導(dǎo)軌的安裝調(diào)試
不受滾動(dòng)角的影響，調(diào)整光路容易 

XD Laser：5D/6D激光干涉儀是API產(chǎn)品，一次安裝能夠同時(shí)測(cè)量線性軸的六個(gè)誤差，包括1個(gè)位置度誤差、2個(gè)直線度誤差、3個(gè)角度誤差。在通常情況下需要數(shù)天時(shí)間進(jìn)行的測(cè)試，使用API激光干涉儀只需幾個(gè)小時(shí)即可完成，實(shí)際應(yīng)用結(jié)果表明，節(jié)省時(shí)間可達(dá)80%。該儀器體積小，重量輕，可以直接安裝到機(jī)床導(dǎo)軌上。6D激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器、干涉儀和6維傳感器組成，從激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后，被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束，一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反向后返回干涉儀與參考光束相干產(chǎn)生干涉條紋，經(jīng)光學(xué)相位探測(cè)器識(shí)別后進(jìn)行電子記數(shù)，記錄精確長(zhǎng)度位移。第二束光用作直線度測(cè)量的參考光束，傳感器與參考光束之間的相對(duì)位移由裝在傳感器內(nèi)的橫向疚光電二級(jí)管測(cè)得。第三束光用作裝在6D傳感器內(nèi)的小型光電測(cè)角儀的參考光源，用來測(cè)量角度誤差（俯仰角和偏擺角）。為了保證激光光束的穩(wěn)定性，測(cè)量?jī)x在結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)以及激光器的選擇方面都做了仔細(xì)周密的考慮，以使測(cè)量?jī)x的橫向和角度漂移量都降低到小，從而保證測(cè)量?jī)x的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。測(cè)量?jī)x配有自動(dòng)氣壓、環(huán)境溫度補(bǔ)償器，自動(dòng)校正環(huán)境變化對(duì)激光波長(zhǎng)及長(zhǎng)度測(cè)量的影響，測(cè)量?jī)x還配有專門設(shè)計(jì)的多重?cái)?shù)字濾波器，使由空氣波動(dòng)及溫度梯度引起的測(cè)量誤差降到小。