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伯東代理移動(dòng)型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392

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移動(dòng)型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 全新上市( ASM 380 升級(jí)款)

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2. 極短的測(cè)試時(shí)間
3. 大型彩色觸摸屏, 無需任何工具即可*旋轉(zhuǎn)和拆卸
4. 符合人體工學(xué)設(shè)計(jì), 移動(dòng)性強(qiáng)
5. *符合 Semi S2 標(biāo)準(zhǔn)
檢漏儀 ASM390

上海伯東 Pfeiffer 移動(dòng)型檢漏儀 ASM 390, ASM 392 與 ASM 380 技術(shù)參數(shù)對(duì)比:

型號(hào)

ASM 390

ASM 392

ASM 380

檢測(cè)氣體

4He, 3He, H2

小檢測(cè)漏率

真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸槍式: 1X10-8 mbar l/s

對(duì)氦氣的抽速

10 l/s

25 l/s, 內(nèi)置2臺(tái)分子泵

7 l/s

前級(jí)泵抽速

35 m3/h

進(jìn)氣口大壓力

20 mbar

20 mbar

15 mbar

無校準(zhǔn)的啟動(dòng)時(shí)間(20°C)

2 min

2 min

< 4.5 min

進(jìn)氣口

DN 40 ISO-KF

響應(yīng)時(shí)間

< 1 s

Interface,  選配

RS-232, I/O, Ethernet

噪音

≤ 55 dB (A)

≤ 55 dB (A)

53 dB (A)

重量

125 kg

130 kg

110 kg

尺寸(LxWxH)

1072 x 455 x 1025 mm

1072 x 455 x 1025 mm

1065 X 455 X 1025 mm


移動(dòng)型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 應(yīng)用領(lǐng)域: 可用于半導(dǎo)體和平板顯示器行業(yè)以及其他要求*的應(yīng)用

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