雙模式三維輪廓儀、臺階儀白光干涉能夠進行高分辨率圖像的掃描，對表面進行分析。兩種工作模式-相移和白光掃描模式,能夠高精度測量粗糙或者光滑的樣品表面。

特點：一臺設備上集成非接觸式白光干涉形貌儀+高精度原子力顯微鏡
 
白光干涉
 
白光干涉能夠進行高分辨率圖像的掃描，對表面進行分析。兩種工作模式-相移和白光掃描模式,能夠高精度測量粗糙或者光滑的樣品表面。
 
?      好的技術來實現(xiàn)高Z向分辨率
 
?      白光干涉法和相移兩種模式實現(xiàn)Z方向的高分辨率。
?      快速圖像處理系統(tǒng)達到400萬像素
?      四色LED相機
 
?      更大的垂直測量范圍達10毫米
 
?      150 mmx150mm馬達控制平臺。
 
?      樣品粗糙度，粗糙表面高度拋光后的光潔度以及表面結構測量，如陶瓷、塑料和輥鋼。
 
?      SPIP專業(yè)數(shù)據(jù)分析軟件
 
原子力顯微鏡
 
探針式輪廓測量能夠進行材料在納米尺度水平的測試。提供掃描范圍70 x70um，探針更換簡單。
 
?      好的技術來實現(xiàn)Z和XY方向上的高分辨率
 
?      X,Y和Z方向上納米級的分辨率和精度。
?      線性XY壓電陶瓷掃描
 
?      包括振動和不振動的模式
 
?      可選的側向力和相位模成像