超高分辨多靶材離子濺射儀,電鏡放大倍率可到300K也不會看到鍍膜顆粒,非常適合于現(xiàn)階段超高分辨場發(fā)射電鏡或雙束電鏡,電子探針等,如 FEI Nova, Megglen, Verios, Helios等, 日立電鏡的SU80000, SU8200, S4800, 9000系列等, 日本電子 7600F, 7800F等, 蔡司的Merlin, Ultra, Gemini, Auriga系列等。
為了答謝廣大中國電鏡工作者對于英國Cressington產(chǎn)品信賴和支持,以及對于溢鑫科創(chuàng)工作的配合和支持,我司和英國原廠特舉辦回饋優(yōu)惠活動(dòng):購置超高分辨208HR鍍膜系統(tǒng),將贈送超高分辨膜厚監(jiān)控儀MTM-20以及高性能旋轉(zhuǎn)傾斜樣品臺。
磁控冷態(tài)噴鍍
有冷態(tài)鍍膜設(shè)計(jì)使用真正的“平衡磁控管”沒有等離子體電流在樣品,在得到高分辨非晶鍍膜層同時(shí)避免樣品受到熱損傷,對熱損傷或輻照損傷敏感樣品尤為適合
廣泛的鍍層靶材選擇
特殊雙極磁控管頭設(shè)計(jì)和有效的氣體離子處理使得208HR擁有廣泛多種鍍層靶材選擇
全自動(dòng)化設(shè)計(jì)
自動(dòng)的換氣與泄氣功能,濺射電流和電壓通過磁控頭的傳感線監(jiān)控,蒸發(fā)源作為反饋回路中的一部分被控制保證了均勻*的膜厚,和良好的導(dǎo)電噴鍍效果。
超高精度膜厚監(jiān)控設(shè)計(jì)
使用可選MTM-20全自動(dòng)高分辨膜厚監(jiān)控儀可優(yōu)化設(shè)計(jì)鍍膜條件達(dá)到0.1nm膜厚可控效果
多用途樣品托設(shè)計(jì)
獨(dú)立的旋轉(zhuǎn),水平和傾斜 3軸移動(dòng)設(shè)計(jì)優(yōu)化了多樣品以及不規(guī)則樣品的均勻一直鍍膜
可變的樣品室?guī)缀卧O(shè)計(jì)
為了優(yōu)化鍍層結(jié)構(gòu)樣品室?guī)缀卧O(shè)計(jì)可用于調(diào)整噴鍍速度從1.0納米每秒到0.002納米每秒
廣泛的操作氣體壓力
獨(dú)立的電壓,電流以及壓力回路控制系統(tǒng)允許可操作氬氣壓力從0.2-0.005mbar真空度
緊湊型時(shí)尚桌面式設(shè)計(jì)
節(jié)能,緊湊設(shè)計(jì)消除了對于樓層空間要求,水要求和專業(yè)電氣連接要求
鍍膜不同多樣樣品
超高分辨208HR鍍膜系統(tǒng)現(xiàn)在針對噴鍍不同電鏡樣品提供了較理想的解決方案。為了減小噴鍍晶粒尺寸影響,208HR提供一套全系列的鍍膜靶材材料和*的膜厚鍍層控制條件。為了更小優(yōu)化充電效果,208HR的特殊樣品臺設(shè)計(jì)和大范圍的操作壓力提供了高精度的鍍膜*性和統(tǒng)一性。 高低樣品室的配置也提供了更為方便的工作距離調(diào)整。
可調(diào)式旋轉(zhuǎn)傾斜水平樣品臺 超高分辨全自動(dòng)膜厚監(jiān)控儀 MTM-20
208HR超高分辨鍍膜儀技術(shù)規(guī)格:
樣品倉尺寸: 150mm 直徑, 三個(gè)高度可調(diào),適用高度不同樣品,高強(qiáng)度硼硅酸鹽玻璃
濺射管頭:低電壓平面磁控管,靶材更換快速,環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩
噴鍍靶材:鉻,鉑/鈀 標(biāo)配, 金,鎢,銅,鋁,銥,銀等選配,其他材料按客戶需求提供
濺鍍優(yōu)點(diǎn):基于微處理器反饋控制,遠(yuǎn)程電流/電壓感應(yīng);提供真空安全聯(lián)鎖裝置,大180A,配有過流保護(hù),數(shù)字化可選電流(20,40,60 或80毫安)
樣品臺:可放置12個(gè)標(biāo)準(zhǔn)EM樣品座,0到90度傾斜可調(diào)的旋轉(zhuǎn)水平樣品臺
模擬計(jì)量:真空 Atm - 0.001mb 電流: 0 – 80mA
控制方式: 全自動(dòng)噴鍍控制,自動(dòng)卸真空自動(dòng)進(jìn)氣功能,使用可編程電壓控制和計(jì)時(shí)數(shù)字計(jì)時(shí) (0 – 300秒)以及暫停設(shè)計(jì);全自動(dòng)真空監(jiān)測系統(tǒng)
真空系統(tǒng): 標(biāo)配無油分子泵真空以及機(jī)械泵真空系統(tǒng),泵抽速達(dá)到每秒70L,1.5分鐘內(nèi)抽到真空度到1 x 10-4 mbar, 極限真空優(yōu)于5 x 10-6 mbar,附帶減震臺的桌面式真空泵設(shè)計(jì),全金屬耦合系統(tǒng)
全自動(dòng)超高分辨膜厚監(jiān)控儀技術(shù)規(guī)格:
MTM-20 基于微處理控制,4位顯示系統(tǒng),6MHZ晶體監(jiān)探器,每秒5次實(shí)時(shí)監(jiān)控 MTM-20
膜厚監(jiān)控范圍: 0到999.9納米
分辨率: 優(yōu)于0.1納米
密度范圍:0.50到30.00gm/cm3
安裝環(huán)境要求:
電源:200-240 VAC, 50/60Hz
功率:550VA
氬氣要求:99.99% 純氬氣,壓力設(shè)定0.5/0.6 bar, 6.0mm管路接口
設(shè)備尺寸:寬600mm, 深600mm,高450mm, 重量40kG