概況介紹 Atto
技術(shù)參數(shù): Plasma Cleaner Atto 配有手動(dòng)控制系統(tǒng)
外殼:
寬 425 mm、高 275 mm、深 450 mm
腔室:
玻璃材質(zhì)、? 211 mm、長 300 mm
腔室容積:
約 10.5 升
氣源:
2 個(gè)由針型閥控制的氣體通道
發(fā)生器:
40 kHz/200 W 或者 13.56 MHz/50 W 固定搭配
真空泵:
抽吸性能: 2 m3/h
部件支架:
1 個(gè)產(chǎn)品支架
控制系統(tǒng):
手動(dòng)型、通過模擬計(jì)時(shí)器測定工藝時(shí)間
技術(shù)參數(shù): Plasma Cleaner Atto 配有外部 PC 控制系統(tǒng)
外殼:
寬 525 mm、高 275 mm、深 450 mm
腔室:
玻璃材質(zhì)、? 211 mm、長 300 mm
腔室容積:
約 10.5 升
氣源:
2 個(gè)由 MFCs 控制的氣體通道
發(fā)生器:
40 kHz / 200 W 或者 13.56 MHz / 50 W 固定搭配
真空泵:
抽吸性能: 2 m3/h
部件支架:
1 個(gè)產(chǎn)品支架
控制系統(tǒng):
PC-控制系統(tǒng) (Microsoft Windows XP)
Diener Atto 等離子清洗機(jī)技術(shù)參數(shù): Plasma Cleaner Atto 配有集成式 PC 控制系統(tǒng)
外殼:
寬 525 mm、高 275 mm、深 450 mm
腔室:
玻璃材質(zhì)、? 211 mm、長 300 mm
腔室容積:
約 10.5 升
氣源:
2 個(gè)由 MFCs 控制的氣體通道
發(fā)生器:
40 kHz/200 W 或者 13.56 MHz/50 W 固定搭配
真空泵:
抽吸性能: 2 m3/h
部件支架:
1 個(gè)產(chǎn)品支架
控制系統(tǒng):
PC-控制系統(tǒng) (Microsoft Windows XP)
Diener Atto 等離子清洗機(jī)技術(shù)參數(shù): Plasma Cleaner Atto 配有集成式 PCCE 控制系統(tǒng)
外殼:
寬 525 mm、高 275 mm、深 450 mm
腔室:
玻璃材質(zhì)、? 211 mm、長 300 mm
腔室容積:
約 10.5 升
氣源:
2 個(gè)由 MFCs 控制的氣體通道
發(fā)生器:
40 kHz / 200 W 或者 13.56 MHz / 50 W 固定搭配
真空泵:
抽吸性能: 2 m3/h
部件支架:
1 個(gè)產(chǎn)品支架
控制系統(tǒng):
PC-控制系統(tǒng) (Microsoft Windows CE)