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北京哈科半導(dǎo)體測(cè)量顯微鏡

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北京哈科半導(dǎo)體測(cè)量顯微鏡產(chǎn)品簡(jiǎn)介:該光學(xué)自動(dòng)化檢測(cè)設(shè)備主要用于LCD、PDP、PCB等相關(guān)的光電產(chǎn)業(yè),為其研發(fā)、制造提供所需的檢測(cè)設(shè)備。具有觀察OLB壓接粒子分布、液晶板表面貼附的異物、液晶板劃傷情況、測(cè)量導(dǎo)電粒子大小、數(shù)量等功能。

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 北京哈科半導(dǎo)體測(cè)量顯微鏡產(chǎn)品特點(diǎn);   測(cè)量型金相顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測(cè)量多用的高精度、高效率測(cè)量?jī)x器。該產(chǎn)品具有電視成像與目視光學(xué)兩套瞄準(zhǔn)系統(tǒng),可人工觀察金屬表面的金相組織結(jié)構(gòu),是集光、機(jī)、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產(chǎn)品以二維測(cè)量為主,也可作三維輔助測(cè)量,廣泛應(yīng)用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機(jī)玻璃等工業(yè)領(lǐng)域。

 

1. Z軸光柵尺分辨力為0.1μm

2. X、Y軸采用空氣軸承、花崗石導(dǎo)向,保證了機(jī)械系統(tǒng)的精確穩(wěn)定,提高了測(cè)量精度

3. X、Y、Z三軸伺服控制,定位精度高、速度快,運(yùn)行平穩(wěn)

4. 同軸光/底光測(cè)量

5. 內(nèi)置偏光測(cè)量光學(xué)模塊

6. 自主開(kāi)發(fā)QMS3D-M軟件,高清晰進(jìn)口1/2"彩色攝像機(jī)

7. 可通過(guò)激光指示器尋找被測(cè)工件的具體位置,可適應(yīng)復(fù)雜工件的測(cè)量

8. 可實(shí)現(xiàn)Z軸自動(dòng)對(duì)焦

9. 具有偏光和DIC檢測(cè)功能

10. 可搭配白光納米檢測(cè)模塊測(cè)量納米級(jí)厚度

 

北京哈科半導(dǎo)體測(cè)量顯微鏡產(chǎn)品規(guī)格參數(shù):

型號(hào)

JTM-6065C

JTM-6090C

 

工作臺(tái)

玻璃臺(tái)尺寸(mm)

690*770

640*1070

XY運(yùn)動(dòng)行程(mm)

600*650

600*900

Z向行程(mm)

200

200

外形尺寸(mm)

1500*1350*1510

1800*1350*1510

儀器重量(kg)

1300

1550

X、Y、Z向分辨力(um)

0.1

X、Y示值誤差(um)

E1XY=(2.5+L/200)

物鏡放大倍率誤差

包括畸變?cè)趦?nèi)的放大率誤差:≦0.08%

落射照明光源

可調(diào)高亮度LED燈源

底光照明光源

可調(diào)條型光源

電源

AC   100V-240V  50/60Hz

氣源壓力

0.5MPa

空氣流量

120L/min(0.4   MPa)

溫度范圍

20±2℃<1/h  2/24h 1/m

濕度

55%~65%

 

目視系統(tǒng)

影像系統(tǒng)

物鏡放大倍數(shù)

5X、10X、20X50X

目鏡放大倍數(shù)

10X雙鏡筒

1/2”CCD攝像機(jī)

 

總放大倍數(shù)

 

50X~500X

140X~1400

(17”顯示囂,分辨率1024*768)

     

 


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