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SYSC-100A 高精度程控勻膠機(jī)

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高精度程控勻膠機(jī)
一. 產(chǎn)品應(yīng)用
SYSC-100 勻膠機(jī)(Spin Coater),又稱(chēng)為旋轉(zhuǎn)涂膜儀,是一代旋轉(zhuǎn)涂膜設(shè)備。具有速度精度高、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、旋轉(zhuǎn)加速度可控

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高精度程控勻膠機(jī)型號(hào):SYSC-100A 
一.    產(chǎn)品應(yīng)用 
 Spin Coater),又稱(chēng)為旋轉(zhuǎn)涂膜儀,是一代旋轉(zhuǎn)涂膜設(shè)備。具有速度精度高、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、旋轉(zhuǎn)加速度可控、勻膠過(guò)程多段程序控制等特點(diǎn)。主要用于微電子、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能電池、新能源、生物材料、光學(xué)器件等領(lǐng)域的表面涂膜工藝,例如各類(lèi)納米薄膜材料、光阻涂層、生物功能涂層的制備。 
二.    產(chǎn)品特點(diǎn) 
1.     旋轉(zhuǎn)電機(jī)采用專(zhuān)為勻膠機(jī)設(shè)計(jì)的精密高速伺服電機(jī),具有高精度、高穩(wěn)定性、高可靠性。 
2.     優(yōu)異的旋轉(zhuǎn)加速性能,Z大旋轉(zhuǎn)加速度可達(dá)40000rpm/s(有負(fù)載的真實(shí)加速度)。 
3.     兩項(xiàng)安全互鎖功能: 
 (1) 勻膠腔體具有開(kāi)啟、關(guān)閉的檢測(cè)功能,確保腔體關(guān)閉后才可啟動(dòng),防止勻膠過(guò)程中飛片造**身傷害; 
 (2) 真空吸片具有真空檢測(cè)功能,若發(fā)生真空泄漏,基片無(wú)法吸附牢固,則立即停止運(yùn)行。 
4.     機(jī)身外殼采用SUS304不銹鋼制作,防腐蝕、不生銹、易清潔。 
5.     勻膠腔體采用德國(guó)勞士領(lǐng)NPP材料,經(jīng)CNC一體加工成型。接儲(chǔ)脫離基片的膠液,避免進(jìn)入真空管路和設(shè)備內(nèi)部。耐腐蝕、易清潔。 
6.     旋轉(zhuǎn)吸片臺(tái)采用德國(guó)勞士領(lǐng)PEEK材料,經(jīng)CNC一體加工成型。耐高溫、耐腐蝕、不變形。 
7.     勻膠過(guò)程全自動(dòng)分段程序控制。整個(gè)勻膠過(guò)程Z多可分十段進(jìn)行,每段的加速時(shí)間、旋轉(zhuǎn)速度、勻膠時(shí)間均可精密控制、連續(xù)可調(diào)??蓛?chǔ)存50組工藝程序,隨時(shí)調(diào)用。 
8.     7英寸液晶觸摸屏使控制更方便;運(yùn)行狀態(tài)及各項(xiàng)參數(shù)實(shí)時(shí)顯示,更直觀了解勻膠進(jìn)程; 
9.     真空泵的開(kāi)啟與關(guān)閉均為自動(dòng)程序控制,無(wú)需手動(dòng)操作。 
10.   旋轉(zhuǎn)前增加預(yù)吸片步驟,“預(yù)吸片時(shí)間”Z多為99s,確?;喂涛接谛D(zhuǎn)臺(tái)后再進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂膜。勻膠完成后增加解吸片步驟,“解吸片時(shí)間”Z多為99s,確保安全停止后再切斷真空,釋放基片,防止涂膜后的基片滑落,對(duì)膜層造成損傷。 
11.   標(biāo)配無(wú)油真空泵,低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉(zhuǎn)臺(tái),防止飛片。 
三.    技術(shù)參數(shù) 
產(chǎn)品型號(hào)SYSC-100A 
可鍍膜基片尺寸Ø10~100mm 
旋轉(zhuǎn)速度10~8000rpm 
轉(zhuǎn)速分辨率1rpm 
速度精度<0.02% 
旋涂加速度*0~40000rpm/s 
每段加速時(shí)間999.9s 
每段旋涂時(shí)間9999.9s 
時(shí)間分辨率0.1s 
預(yù)吸片時(shí)間99s 
解吸片時(shí)間99s 

**大旋涂加速度為有負(fù)載條件下(使用≤Ø50mm基片)的真實(shí)加速度.

高精度程控勻膠機(jī)

 

 

 

 

產(chǎn)品名稱(chēng):熒光法在線溶解氧測(cè)定儀 在線熒光法溶氧儀
產(chǎn)品型號(hào):DO-6800-YG 

熒光法在線溶解氧測(cè)定儀 在線熒光法溶氧儀型號(hào):DO-6800-YG 

應(yīng)用 
可廣泛應(yīng)用于污水處理曝氣、環(huán)保水處理、制藥、水產(chǎn)養(yǎng)殖和自來(lái)水等溶液中溶解氧值的連續(xù)監(jiān)測(cè)。 
主要特點(diǎn) 
 全新防水防塵防潮優(yōu)質(zhì)外殼(IP65)工藝,表面噴漆工藝,儀表外觀大方、。 
 帶自動(dòng)清洗功能(選配),清洗裝置(選配)為自來(lái)水清洗方式。 
 產(chǎn)品擁有高精度,高穩(wěn)定性能,抗干擾抗污染能力強(qiáng),耐用。 
 采用進(jìn)口元器件和熒光法測(cè)量技術(shù),*工作穩(wěn)定可靠和準(zhǔn)確性。 
 大屏幕點(diǎn)陣液晶顯示、中文菜單、多參數(shù)同時(shí)顯示。 
 多參數(shù)同時(shí)顯示:溶氧值、溫度、輸出電流、報(bào)警點(diǎn)等同時(shí)顯示,直觀易讀,并有量程限提示。 
 屏幕顯示報(bào)警狀態(tài)并能同時(shí)伴有開(kāi)關(guān)ON/OFF信號(hào)輸出。 
 自動(dòng)溫度補(bǔ)償功能:自動(dòng)0~60℃。 
 通訊功能:接口光電隔離技術(shù),具有RS-485通訊接口(MODBUS協(xié)議部分兼容)(選配),可轉(zhuǎn)換RS-232。4~20 mA電流輸出對(duì)應(yīng)的DO值可以任意設(shè)定,DO值可以正反控制4~20 mA,在一些加藥領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。支持公司內(nèi)部物聯(lián)網(wǎng)和客戶定制物聯(lián)網(wǎng)。 
 記事本:能存儲(chǔ)50個(gè)測(cè)量數(shù)據(jù),用戶可以根據(jù)需要記錄測(cè)量數(shù)據(jù)。 
 歷史曲線:PH/ORP模式分別能記錄50組的歷史數(shù)據(jù)(采樣間隔1-240分),并具有查詢(xún)功能。 
 遲滯量任意設(shè)定功能,避免開(kāi)關(guān)繼電器頻繁動(dòng)作。 
 看門(mén)狗功能:確保儀表不會(huì)死機(jī)。 
 核心器件均來(lái)自國(guó)外。 
 可恢復(fù)出廠設(shè)置。 
 掉電保護(hù)>10年 
 ABS塑料外殼IP65,防水防塵防潮設(shè)計(jì)。 
技術(shù)指標(biāo) 
 測(cè)量范圍: 0 ~ 20.00 mg/L,量程自動(dòng)切換;0~60℃ 
 分 辨 率:0.1ug/L,0.0 1mg/L,0.1℃ 
 精 度:ug/L: ±1.0%FS;mg/L:±0.5%FS,±0.3℃  
 自動(dòng)溫度補(bǔ)償:0~60℃ 
 控制接口:兩組ON/OFF繼電器接點(diǎn),分為高點(diǎn)、低點(diǎn)報(bào)警信號(hào)光電隔離輸出。 
 自動(dòng)清洗接口:一組自動(dòng)清洗控制點(diǎn),清洗時(shí)間0-9999秒,間隔時(shí)間0-9999分 
 4~20mA電流輸出:兩路電流輸出,光電隔離保護(hù),提高抗干擾能力,4-20mA對(duì)應(yīng)的量程可以反向輸出。 
 485接口:光電隔離輸出,支持物聯(lián),(MODBUS協(xié)議部分兼容)。 
 繼 電 器:繼電器滯后量任意設(shè)定,繼電器負(fù)載 3A 220VAC 
 工作條件:環(huán)境溫度為0~60℃,相對(duì)濕度≤90% 
 輸出負(fù)載:負(fù)載<750Ω(4-20mA) 
 工作電壓:220VAC?10%、50/60Hz 
 尺 寸:96×96×168 mm 
 開(kāi)孔尺寸:92×92mm 
 重 量:0.9Kg 
 防護(hù)等級(jí):IP65,防水防塵防潮

 

北京同德創(chuàng)業(yè)科技有限公司

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