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上海伯東代理氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390

參考價 354000
訂貨量 ≥1
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上海伯東德國 Pfeiffer 移動型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 全新上市!ASM 39X 系列是針對大型檢漏部件設(shè)計研發(fā), 檢漏儀配有干式非接觸式前級真空泵和渦輪分子泵, 檢漏儀 ASM 392 內(nèi)置2臺渦輪分子泵, 可以加速泄漏檢測流程, 降低生產(chǎn)設(shè)備的停機(jī)時間, ASM 390, ASM 392 對氦氣的快速抽空能力和較短的響應(yīng)時間使其成為同類型檢漏儀中的!

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Pfeiffer 移動型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 全新上市!
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移動型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 優(yōu)勢:
1. 強(qiáng)大的抽空能力
2. 極短的測試時間
3. 大型彩色觸摸屏, 無需任何工具即可*旋轉(zhuǎn)和拆卸
4. 符合人體工學(xué)設(shè)計, 移動性強(qiáng)
5. *符合 Semi S2 標(biāo)準(zhǔn)
檢漏儀 ASM390

上海伯東 Pfeiffer 移動型檢漏儀 ASM 390, ASM 392 與 ASM 380 技術(shù)參數(shù)對比:

型號

ASM 390

ASM 392

ASM 380

檢測氣體

4He, 3He, H2

小檢測漏率

真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸模式: 1X10-8 mbar l/s

對氦氣的抽速

10 l/s

25 l/s, 內(nèi)置2臺分子泵

7 l/s

前級泵抽速

35 m3/h

進(jìn)氣口大壓力

20 mbar

20 mbar

15 mbar

無校準(zhǔn)的啟動時間(20°C)

2 min

2 min

< 4.5 min

進(jìn)氣口

DN 40 ISO-KF

響應(yīng)時間

< 1 s

Interface,  選配

RS-232, I/O, Ethernet

噪音

≤ 55 dB (A)

≤ 55 dB (A)

53 dB (A)

重量

125 kg

130 kg

110 kg

尺寸(LxWxH)

1072 x 455 x 1025 mm

1072 x 455 x 1025 mm

1065 X 455 X 1025 mm


移動型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 應(yīng)用領(lǐng)域: 可用于半導(dǎo)體和平板顯示器行業(yè)以及其他要求*的應(yīng)用

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上海伯東 : 羅先生



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