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MMD-HPG100F 鼎邁檢測(cè)-粗糙度輪廓儀的工作原理

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表面粗糙度是機(jī)械加工中描述表面微觀形貌較常用的參數(shù),它反映的是機(jī)械零件表面的微觀幾何形狀誤差,隨著機(jī)械加工行業(yè)的發(fā)展表面粗糙度測(cè)量技術(shù)也得到長(zhǎng)足進(jìn)步,特別是70年代中后期,隨著微電子計(jì)算機(jī)應(yīng)用的逐步普及和現(xiàn)代光學(xué)技術(shù)、激光應(yīng)用技術(shù)的發(fā)展,使粗糙度測(cè)量技術(shù)在機(jī)械加工、光學(xué)加工、電子加工等精密加工行業(yè)中的地位顯得愈發(fā)重要。

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鼎邁檢測(cè)-粗糙度輪廓儀的工作原理

 

         觸針式表面粗糙度輪廓儀由傳感器、 驅(qū)動(dòng)箱、指示表、 記錄器工作臺(tái)等主要部件組成。電感傳感器是輪廓儀的主要部件之一,傳感器測(cè)桿一端裝有觸針 (由于金剛石耐磨、 硬度高的特點(diǎn), 觸針多選用金剛石材質(zhì)), 觸針的*要求曲率半徑很小,以便于全面的反映表面情況。 測(cè)量時(shí)將觸針*搭在加工件的被測(cè)表面上, 并使針尖與被測(cè)面保持垂直接觸, 利用驅(qū)動(dòng)裝置以緩慢、 均勻的速度拖動(dòng)傳感器。 由于被測(cè)表面是一個(gè)有峰谷起伏的輪廓, 所以當(dāng)觸針在被測(cè)表面拖動(dòng)滑行時(shí), 將隨著被測(cè)面的峰谷起伏而產(chǎn)生上下移動(dòng)。 此運(yùn)動(dòng)過(guò)程又運(yùn)用杠桿原理經(jīng)過(guò)支點(diǎn)傳遞給磁芯, 使它同步地在電感線圈中作反向上下運(yùn)動(dòng), 并將運(yùn)動(dòng)幅度放大, 從而使包圍在磁芯外面的兩個(gè)差動(dòng)電感線圈的電感量發(fā)生變化, 并將觸針微小的垂直位移轉(zhuǎn)換為同步成比例的電信號(hào)。

        傳感器的線圈與測(cè)量線路直接接入由后續(xù)裝備成的平衡電橋, 線圈電感量的變化使電橋失去了平衡, 于是就激發(fā)輸出一個(gè)和觸針上下位移量大小比的電量, 此時(shí)的這一電量比較微弱, 不易被察覺(jué), 需要用電子裝置將這一微弱電量的變化放大, 再經(jīng)相敏檢波后, 獲得能表示觸針位移量大小和方向的信號(hào)。 信號(hào)又可分為三路: 一路加載在指示表上, 以表示觸針的位置; 一路輸送至直流功率放大器, 放大后推動(dòng)記錄器進(jìn)行記錄; 一路經(jīng)濾波和平均表放大器放大之后, 進(jìn)入積分計(jì)算器, 進(jìn)行積分計(jì)算, 由指示表直接讀出表面粗糙度參數(shù)值。

        這種儀器的測(cè)量范圍通常為Ra0.02~10μm,其中有少數(shù)型號(hào)的儀器還可以測(cè)定更小的參數(shù)值。儀器配有各種附件,以適應(yīng)平面、內(nèi)外圓柱面、圓錐面、球面、曲面、小孔、溝槽等形狀的工件表面測(cè)量, 測(cè)量迅速方便, 且精度較高 。


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