徠卡DM8000M 高級顯微鏡德國LEICA 徠卡晶圓和FPD檢查顯微鏡LEICA DM8000M LEICA DM12000M 是經(jīng)典的INM100,INM200,INM300顯微鏡的換代產(chǎn)品

徠卡DM8000M 高級顯微鏡產(chǎn)品特性● 0.7倍高級宏觀物鏡視野達(dá)到40毫米● 徠卡的立體斜照明，可以快速檢查晶圓表面的微小裂紋 ●所有物鏡均帶電子CODE,可被軟件自動識別，刻度尺自動伸縮，無需自選

徠卡DM8000M 高級顯微鏡 的超級暗場術(shù)背景更黑缺陷一目了然 ●

UV高分辨率，可以快速直接觀察到120納米的線條

●立體UV觀察，可以對凸塊，溝槽側(cè)壁清晰地觀察

 ●大型載物臺搭載：可用于400*300mm液晶基板，300mm晶圓全面檢查（DM12000M）

● 采用高NA的透射光聚光鏡，圖象更銳利

● 多種觀察方式，多種照明方式，多種附件以滿足不同應(yīng)用要求

● 透射和反射照明可同時使用，*提高液晶基板觀察效果LEICA DM8000M LEICA DM12000M 產(chǎn)品特點縮短檢查用時，提高檢查效率自動聚焦附件透射光檢查照明的自動聚焦附件可配合所有的反射光照明觀察方式，甚至包括暗視場和微分干涉相襯觀察。實現(xiàn)快速和精確的自動對焦，甚至觀察方式轉(zhuǎn)換時也能實時準(zhǔn)確的找到焦面。兩種照明裝置可選，通用型及高數(shù)值孔徑型。為FPD，MASK板檢查提供合適的照明，并且可配備起偏鏡，實現(xiàn)投射光簡易偏光觀察。高反差，更高分辨率，更高倍率檢查用于光刻膠殘留檢查的熒光觀察方式熒光分光鏡模塊 UV光學(xué)系統(tǒng)可以提供更高的反差和分辨率，分辨率可達(dá)0.12μm。

備有U.B.G等多種熒光方式可選，用于光顆膠殘留以及OLED檢查。方便的通訊接口用于顯微鏡倍率和孔徑光闌的控制和參數(shù)獲得 RS232C用于晶圓以及器件，甚至焊腳的內(nèi)部檢查近紅外線觀察附件標(biāo)配包括一個RS232C接口，使得用PC控制顯微鏡電動部分成為可能，

并且可以實現(xiàn)使工藝線上的幾臺顯微鏡都在同樣的設(shè)定狀態(tài)下工作。包括專門的紅外物鏡等附件，對從可見光到近紅外波段光線的像差做矯正，用于IC深層或內(nèi)部檢查，可實現(xiàn)對WAFER BUMP的全面檢查自動線寬CD測量附件以亞像素技術(shù)實現(xiàn)高度精確的CD測量，