操作規(guī)程
高溫爐
1 準(zhǔn)備工作
a,檢查電源線接觸是否良好
b,檢查連接線是否正常
c,檢查冷卻水是否正常
d,檢查密封性是否正常
e, 準(zhǔn)備所需工具:無塵紙、*、帆布手套、作業(yè)手套、、耐高溫手套、石墨推車、不銹鋼托盤
2 開爐
a,打開主電源開關(guān)
b, 向爐體充氬氣至大氣壓,打開爐體前門,取下石墨蓋板
c, 將輸送車開關(guān)打至 OUT
d, 清爐 清理爐膛內(nèi)壁、石墨件及保溫材料上的污物
3裝料
a,將石墨坩堝放置于輸送車平臺上,使用限位桿確定其位置,依次裝入硅料。
b、拔出限位桿,輸送車開關(guān)打至 IN,依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN,將坩堝裝入爐膛內(nèi),并確定輸送車會到初始位置。
c、裝入石墨蓋板,擰緊石墨螺栓,關(guān)緊爐門
4 抽氣
a、檢查爐門是否關(guān)緊,真空系統(tǒng)是否密封
b、置 DP 按鈕于 DP ON,打開干式真空泵,打開真空計(jì)開關(guān) P1G1,打開干式真空泵 。閥門,開始抽氣測試泄漏率,
c、當(dāng)壓力表指示為 50Pa是關(guān)閉真空泵閥門(非真空泵)露鋁≤1Pa/min,打開氬氣閥門充氬氣(20L/min)。
加熱 先打開水環(huán)泵 再按 RUN,開始工藝加熱。
冷卻
a、加熱結(jié)束后,按工藝條件進(jìn)行冷卻;
產(chǎn)品特性
自然空氣隔熱式,輕巧易搬運(yùn)。
升溫速度快,0-30℃/min可以自由設(shè)定。
高溫爐
爐內(nèi)兩面輻射方式加熱,溫度分布均勻。
保溫:進(jìn)口耐高溫陶瓷棉保溫及陶瓷板、巖棉三重保溫。
加熱器:加熱器,耐用、升溫穩(wěn)定、加熱速度快。
內(nèi)部采用耐高溫陶瓷板,不易變形,外部采用鍍鋅加高溫烤漆美觀,不易掉漆。