徠卡工業(yè)金相顯微鏡更多細(xì)節(jié)盡收眼底， 工作更高效,徠卡工業(yè)顯微鏡，看到更多細(xì)節(jié)意味著工作更高效。DM3 XL 檢驗(yàn)系統(tǒng)提供*的物鏡，可快速掃描大 6“ 的組件。放大倍率為 0.7x 的宏觀物鏡能夠即刻采集 35.7 mm 的視場(chǎng) — 比可用的掃描物鏡寬敞 30%。
通過常規(guī)掃描物鏡看不見的區(qū)域在宏觀概覽下無所遁形：晶片邊緣或中心顯影不足的區(qū)域以及不均勻的徑向膜厚度全部清晰可見，增強(qiáng)您的收益率
徠卡工業(yè)金相顯微鏡適用于所有相襯觀察方法的 LED
DM3 XL 針對(duì)所有相襯觀察方法使用 LED 照明：明場(chǎng)、暗場(chǎng)、微分干涉相襯 (DIC)、偏光和斜射照明。LED 照明可提供恒定的色溫，并在所有亮度等級(jí)下提供真彩色成像。因此，您始終可以看到相同顏色的樣品，獲得可復(fù)制的結(jié)果。憑借長(zhǎng)達(dá) 35,000 小時(shí)的使用壽命和低能耗，LED 還具有巨大的成本節(jié)省潛能，并優(yōu)化公司的碳排放。
> 在所有亮度等級(jí)下實(shí)現(xiàn)真彩色成像
> 自由調(diào)節(jié)
> 沒有更換燈泡導(dǎo)致的停機(jī)時(shí)間
徠卡高性能物鏡
DM3 XL 讓您以實(shí)惠的價(jià)格享受到專業(yè)的光學(xué)特性，例如斜射照明或深暗場(chǎng)對(duì)比。
> 通過斜射照明檢查側(cè)面、 邊緣或碎屑
> 使用深暗場(chǎng)物鏡查看小的顆粒
> 符合標(biāo)準(zhǔn)
斜射照明非常理想地適用于側(cè)面、邊緣或碎屑檢查。它可以幫助您從不同的角度照亮樣品，是簡(jiǎn)單有效的形貌可視化方法 — 即使是由于抗蝕劑殘留物導(dǎo)致的透明形貌也能得到理想的照明。
深暗場(chǎng)對(duì)比的靈敏度大幅提升 — 尤其適用于檢測(cè)樣品
較低層中的微小劃痕或小顆粒。此外，暗場(chǎng)物鏡的大工作距離還可以保護(hù)珍貴樣品，避免其在檢驗(yàn)中意外受損。
當(dāng)然，DM3 XL 也符合 SEMI S2/S8 或 CE 等規(guī)范和標(biāo)準(zhǔn)。
操作員控制更簡(jiǎn)單
采用人體工學(xué)設(shè)計(jì)的顯微鏡改進(jìn)的不只是舒適度 — 它們?cè)跍p輕肌肉勞損的同時(shí)， 還有助于提高生產(chǎn)率。 即使經(jīng)過較長(zhǎng)的工作時(shí)間DM3 XL 依然支持您的團(tuán)隊(duì)交付嘉結(jié)果。
憑借易于操作的控件，用戶可在切換對(duì)比技術(shù)或照明時(shí)，將雙眼專注于樣品之上，雙手操作顯微鏡。右手可以舒適地控制位于右側(cè)的光強(qiáng)控制器。可根據(jù)不同身高對(duì)可變?nèi)梭w工學(xué)鏡筒和調(diào)焦旋鈕進(jìn)行調(diào)整，采用輕松無壓力的工作位置。徠卡工業(yè)金相顯微鏡
精確調(diào)焦驅(qū)動(dòng)器通過三檔系統(tǒng)、樣品保護(hù)擋板和扭矩調(diào)節(jié)裝置確保操作 高度精準(zhǔn)。調(diào)焦限位裝置可保護(hù)您 避免意外受傷。您可在粗調(diào)、微調(diào)或超微調(diào)模式下進(jìn)行調(diào)節(jié)，總移動(dòng)范圍 30 mm。
您的團(tuán)隊(duì)有顯微鏡專家，也有毫無顯微鏡經(jīng)驗(yàn)的操作新手。憑借簡(jiǎn)單直觀的功能，DM3 XL 能幫助團(tuán)隊(duì)中的任何人 快速找到缺陷并采取相應(yīng)的操作。彩色編碼光圈輔助 (CCDA) 基本操作簡(jiǎn)單直觀，對(duì)比、景深清晰，有助于提升您的工作速度，并減少操作失誤。
