- 靈活的模塊結(jié)構(gòu)
- 具有高分辨率的寬測(cè)量范圍
V:±4μV-±1000V,0.05%
I:±20fA-±10A,0.2% - 脈沖測(cè)量能力脈沖寬度1ms~50ms,100μs分辨率
- 高速測(cè)量(典型值)
測(cè)源或監(jiān)控:4ms
Vth,hFE抽取:12ms - 內(nèi)部存儲(chǔ)器
程序存儲(chǔ)器:>2000指令(典型值)
數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器:4004測(cè)量點(diǎn)
提供一個(gè)寬的測(cè)量范圍和靈敏度,Agilent 4142B模塊直流模塊/監(jiān)視器是一個(gè)系統(tǒng)使用的為高吞吐量直流半導(dǎo)體測(cè)試儀專門設(shè)計(jì)的直流測(cè)量?jī)x器。一個(gè)*可由用戶定義的系統(tǒng)組成,4142B特點(diǎn)是模塊構(gòu)造,容許你建立一個(gè)適于自己需要的常規(guī)構(gòu)造。
8個(gè)內(nèi)插槽可用來(lái)對(duì)目前能獲的五個(gè)模塊進(jìn)行多式多樣的組裝,新模塊保以很容易地提高測(cè)量能力的等級(jí),對(duì)兩類源/監(jiān)視器單元(SMU)選擇,以便測(cè)量范圍高達(dá)±1A:高電流源/監(jiān)視器單元(HCU)達(dá)±10A,高電壓源/監(jiān)視器單元(HVU)達(dá)±1000V,電壓源/電壓監(jiān)視器單元(HVU)達(dá)±1000V,電壓源/電壓監(jiān)視器單元(VS/VMU)和模擬反饋單元(AFU),GPIB高速接口與4142B測(cè)量命令和測(cè)量存貯能相耦合可可減小計(jì)算機(jī)負(fù)荷,增大吞吐能力,簡(jiǎn)化系統(tǒng)化。
通用的SMU和可靠的測(cè)量
對(duì)于一般目的直流或脈沖測(cè)量,使用Agilent 4242B電源監(jiān)視器。相當(dāng)于四臺(tái)儀器的該精確模塊可使電壓達(dá)到±100V,同時(shí)測(cè)量電流降到20fA。它也可使電流達(dá)到±100mA,而測(cè)量電壓下降到40μV和20fA的測(cè)量分辨率。SMU均擁有依從特性限制輸出電壓,電流或功率防止損壞裝置。SMU(41420A或41421B)用作為電壓源/電流監(jiān)視器或者電流源/電壓監(jiān)視器。這些補(bǔ)充的操作模式可改變對(duì)器件的激勵(lì),而不用變更實(shí)際連接。這個(gè)通用性養(yǎng)活了測(cè)試時(shí)間,消除了由于改變DUT的連接引起的不穩(wěn)定性。
測(cè)試功率器件達(dá)10A和1000V
Agilent 41422A HCU和41423A HVU將4142B的測(cè)量范圍擴(kuò)展到10A和1000V,明顯地展示出4142B測(cè)試對(duì)功率器件,如功率三極管,功率MOSFET,GaAs FET和類似集成電路的測(cè)試能力。用這機(jī)關(guān)報(bào)兩個(gè)單元聯(lián)合測(cè)量可達(dá)20A和2000V。
用HCU通過(guò)將熱漂亮移效應(yīng)養(yǎng)活到低的辦法提高了高電流下進(jìn)行快脈沖測(cè)試100μs窄脈寬的可靠性,用HVU進(jìn)行準(zhǔn)脈沖測(cè)量,用把擊穿狀態(tài)持續(xù)時(shí)間養(yǎng)活到小辦法對(duì)擊空電壓的測(cè)量是有效的。
Agilent 1607A模塊選擇器是一個(gè)掃描器,可遙控41420A/41421B,SMU,41422AHCU或41423A HVU至測(cè)試引腳的連接。對(duì)于具有高擊穿電壓的高功率器件給予自動(dòng)測(cè)試,裝模塊的選擇器16088B中特定選取為測(cè)試固定裝置。