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HQ-Z 質(zhì)量混配氣系統(tǒng)

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質(zhì)?量混配氣系統(tǒng)主要用途和適用范圍:用于高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD/CVI實(shí)驗(yàn)等精密氣體的流量控制。

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

質(zhì)?量混配氣系統(tǒng)由單路或多路質(zhì)量流量計(jì)控制、混合連續(xù)供氣,實(shí)現(xiàn)了氣體的質(zhì)量流量精密測(cè)量和控制;結(jié)合我司各種規(guī)格型號(hào)的管式爐、CVD系統(tǒng)及退火爐等對(duì)材料、氣體流量的精確測(cè)量和控制,應(yīng)用性強(qiáng);具有混氣均勻,控制精度高,數(shù)顯直觀,操作靈敏等優(yōu)點(diǎn)。

質(zhì)?量混配氣系統(tǒng)主要功能和特點(diǎn):

1、質(zhì)量流量計(jì)、流量顯示儀分體式連接,便于操作及使用;

2、控制精度高,響應(yīng)快,極低的零漂及溫漂,良好的兼容性;

3、系統(tǒng)配有混氣罐,可單路或多路配合進(jìn)氣;

4、每條氣體管路均配有安全截止閥,確保系統(tǒng)的安全可靠;

5、流量控制器的規(guī)格型號(hào)可根據(jù)要求定制;

6、采用世偉洛克卡套接頭連接,保證良好的密封性;

7、整體式爐架結(jié)構(gòu),搭配性能強(qiáng),可放置我司各種規(guī)格型號(hào)的管式爐等;

8、可通過軟件支持人機(jī)交互界面,操作簡(jiǎn)單方便;

9、預(yù)留真空系統(tǒng)位置,可選不同真空系統(tǒng),組合搭配方便快捷。

質(zhì)?量混配氣系統(tǒng)主要用途和適用范圍:

用于高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD/CVI實(shí)驗(yàn)等精密氣體的流量控制。

注意:嚴(yán)禁氫氣和氧氣同時(shí)供氣,保證安全

質(zhì)?量混配氣系統(tǒng)技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品型號(hào)

HQ-Z(通過歐盟CE認(rèn)證,證書編號(hào):4635230915/4636230915)

爐體結(jié)構(gòu)

雙層爐架結(jié)構(gòu),預(yù)留真空系統(tǒng),組合性強(qiáng)

控制方式

質(zhì)量流量計(jì)配合流量顯示儀

流量規(guī)格

0-500SCCM/0-1SLM(可根據(jù)客戶需要配置)

線性

±0.2%F.S.

準(zhǔn)確度

±1.5%F.S.

重復(fù)精度

±1.5%F.S.

響應(yīng)時(shí)間

≤8sec

耐壓

3MPa

氣路通道

多通道(根據(jù)客戶需求)

混氣罐

SUS316不銹鋼,尺寸:Φ100*200mm

閥  門

SUS316不銹鋼卡套針閥

管 道

Φ6mm無縫鋼管管

接 口

SwagelokΦ6mm

尺寸和重量

設(shè)備:530*1200*850mm (深*寬*高);凈重   kg

標(biāo)準(zhǔn)配置

 主機(jī)1臺(tái),說明書、合格證、保修卡各1份

 

上海鉅晶精密儀器制造有限公司

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手機(jī):13681932736

聯(lián)系人:劉經(jīng)理

電話:86-021-69523328

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