CVD-1200系統(tǒng)由滑動式開啟式真空管式爐，混氣系統(tǒng)，真空及壓力系統(tǒng)等組成。CVD-1200系統(tǒng)燒結(jié)溫度可達1200℃，通過滑動爐體來實現(xiàn)快速的升降溫；配置不同的真空系統(tǒng)來達到理想的真空度；同時通過三路高精度質(zhì)量流量計控制不同氣體。

CVD-1200系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：

爐體結(jié)構(gòu)

雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng)，有效保證外殼表面溫；

日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好

爐子底部裝有一對滑軌，移動平穩(wěn)

爐子可以手動從一端滑向另一端，實現(xiàn)快速的加熱和冷卻

支撐兩端安裝油壓緩沖器

爐蓋可開啟，可以實時觀察加熱的物料

電源

電壓：AC220V 50/60Hz；功率：4KW

爐管

高純石英管，高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強，耐腐蝕，熱膨脹系數(shù)極小

尺寸：Φ40/60/80/100*1200mm

法蘭及支撐

SUS304不銹鋼快速法蘭，通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空

一個卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷

可調(diào)節(jié)的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐

包含進氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合

加熱系統(tǒng)

加熱元件采用優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2，表面負荷高、經(jīng)久耐用

加熱區(qū)長度：440mm

恒溫區(qū)長度：200mm

工作溫度：≤1150℃

zui高溫度：1200℃

升溫速率：10℃/min

溫控系統(tǒng)

溫度控制采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能30段升降溫程序

測溫元件：N型熱電偶

恒溫精度：±1℃

混氣系統(tǒng)

三路質(zhì)量流量計：數(shù)字顯示、氣體流量自動控制

內(nèi)置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥

管路采用不銹鋼管，接口為Φ6卡套

每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥

通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量

流量規(guī)格：0~1SLM

流量精度：±1.5%

真空系統(tǒng)

采用雙極旋片真空泵，真空度可達5x10-1 Torr

數(shù)顯式真空壓力表

可選高真空系統(tǒng)及真空計，壓力控制系統(tǒng)等

可選配件

混氣系統(tǒng),中、高真空系統(tǒng)，各種剛玉、石英坩堝，石英管，計算機控制軟件，無紙記錄儀，氧含量分析儀。