| 參考價 | 面議 |
流量范圍：0-5SCCM-0-500SLPM ；zui大操作壓力： 1000PSIG （6.9 MPa）；主體材質316不銹鋼
001 ， 002 和 003A 型質量流量控制閥門都是常閉的比例控制閥門，可應用在從 0-5sccm 到 0-500 slpm 氮氣量程中。當它與質量流量計結合使用時，就可構成一個閉合回路控制系統(tǒng) , 該系統(tǒng)允許單獨組件配置（流量計和控制閥門）。
001 型， 002 型， 003A 型 質量流量控制閥門技術參數(shù)
流量范圍* ：從 0-5SCCM 到 0-500SLPM
環(huán)境和操作溫度 ： -10 ～ 70 ℃（ 14 ～ 158 ℉）
zui大操作壓力： 1000PSIG （ 6.9 MPa ） ，具體請參考表一
安裝方向 ：對位置不敏感
額定工作電壓 ： 4-11VDC （zui大 24VDC ）
額定工作電流 ： 150mADC （zui大 275 mADC ）
閥線圈電阻 ： 80 ± 4 Ω（ 001型和003A型） ； 63 ± 3 Ω（ 002型）
重 量 ：請參考表一
結構材質
主體： 316 不銹鋼
孔： 316 不銹鋼
閥組件（接液）： 001 型： 302SS ， 316SS ， 430FSS ， Sandvik?1802
002 型： 302SS ， 316SS ， Sandvik1802
003A 型： 302SS ， 316SS ， 430FSS ， Sandvik1802
密封材質（” O ”型環(huán)和閥座）： 001 型： Buna N ， EPDM ， Kalrez ， Neoprene ， Viton
002 型： Buna N ， EPDM ， Kalrez ， Neoprene ， Viton
003A 型： Buna N ， Viton
* 注：上述流量范圍反映的是氮氣標定下產生的zui小流量和zui大流量，可采用其它介質的流量范圍，當操作參數(shù)有疑問時為了保證選型，請咨詢廠家。
表 一
型 號 | 流量范圍 zui小 / zui大 | zui大操作壓力 PSIG （ MPa ） | 重 量 lbs （ Kg ） | |
001 | 0-5SCCM/0-10SLPM | 1000 （ 6.9 ） | 0.6 （ 0.27 ） |
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002 | 0-10SLPM/0-100SLPM | 1000 （ 6.9 ） | 2.1 （ 0.95 ） |
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003A | 0- 100SLPM /0-500SLPM | 200 （ 1.4 ） | 3.4 （ 1.54 ） |
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訂貨時須提供以下信息：
1 、產品型號
2 、密封材質（閥座 / “ O ”型環(huán)）
3 、接口尺寸和類型
4 、流量范圍
5 、介質（氣體類型）
6 、工作溫度
7 、入口壓力 P1
8 、出口壓力 P2
9 、其它要求
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