量程0-0.5SCCM到0-20SLPM,100:1的量程比，內(nèi)置128種氣體，100ms快速響應時間，優(yōu)于1%的精度

美國ALICAT 21VS系列帶截止閥抗腐蝕型質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準證書。Alicat的21VS系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可用于快速精確地測量并控制腐蝕性氣體(如NH3、H2S、SiH4等)的質(zhì)量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度。此外，21VS系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器是專為需要緊密關(guān)閉應用而設計的，如真空鍍膜和濺射過程等。該集成氣動切斷閥是常閉的，并且在閉合狀態(tài)下其zui大氦氣泄漏率僅為1x10 atm scc/s。

產(chǎn)品特點 ：

● 數(shù)字化產(chǎn)品
● 帶氣動截止閥，泄漏率低
● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 多參數(shù)控制:體積流量、質(zhì)量流量和壓力
● 可選高精度：優(yōu)于0.5%
● 高量程比 100:1
● 響應時間快 僅需100ms(可調(diào))
● 內(nèi)置128種常規(guī)以及腐蝕性氣體
● 可現(xiàn)場標定混合氣體（zui多5種成分），并存儲20種混合氣
● 可適用于諸多腐蝕性氣體

技術(shù)參數(shù) ：

介質(zhì)要求：潔凈、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可

介質(zhì)種類：內(nèi)置了128種氣體，請參考“產(chǎn)品資料下載”中氣體兼容表一臺設備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇

量程：從0-0.5SCCM 到 0-20SLPM（詳情請咨詢）

量程比：100:1

zui大顯示流量：102.4%FS

顯示屏：帶按鍵，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式：同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數(shù) FS-滿量程

高精度：±(0.4%RD + 0.2%FS)，選配

僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設備

閥門泄漏率：不超過1x10 atm scc/sec (He)

重復性：± 0.2% FS

零點漂移&滿量程漂移：0.02% FS / ºC / Atm

響應時間：100ms 預熱時間：<1s

標定工況：25ºC & 100kPa 絕壓、20ºC & 100kPa 絕壓、0ºC & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場可切換)

工作溫度：-10 ～ +50 ºC

工作濕度：0-*,無冷凝

標準zui大工作壓力：1MPa 表壓

標準極限耐壓：1.2MPa 表壓

中壓選項：2MPa

數(shù)字輸入/輸出信號：RS232或RS485或Modbus或Profibus*

模擬輸入/輸出信號：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA可選第二路模擬輸出：質(zhì)量流量或體積流量或壓力或溫度

供電電壓：7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)

供電電流：250mA ～ 750mA

電氣接口：8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業(yè)接頭

材質(zhì)：316L不銹鋼、303不銹鋼, 430FRSS, FFKM (Kalrez)

可根據(jù)特殊氣體選用Viton, EPDM, Buna, Neoprene

安裝方式：對位置無要求 防護等級：IP40

* 如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及

供電電流需咨詢我們

產(chǎn)品選型 ：

應用及案例 ：

● 大學/研究所
● 環(huán)境監(jiān)測
● 真空行業(yè)及鍍膜
● 工業(yè)爐窯
● 汽車制造
● 計量
● 過程工藝氣體測量

認證證書 ：