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22系列 ALICAT 22系列 雙向質(zhì)量流量控制器

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量程-0.5SCCM~0.5SCCM到-3000SLPM~3000SLPM,200:1量程比,內(nèi)置98種氣體,100ms響應(yīng),優(yōu)于1%精度

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美國ALICAT 22系列雙向型質(zhì)量流量控制器,采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù),使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。22系列雙向型質(zhì)量流量控制器可通過定制化的高速比例調(diào)節(jié)閥,正向或反向精確測量與控制過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量和壓力。采用雙閥門設(shè)計模式,一臺閥門專門用于控制進(jìn)氣、另一臺用于排氣,實現(xiàn)了僅用一臺設(shè)備便可同時控制開放式或密閉容器內(nèi)上游、下游端流量,以及正壓、背壓。

產(chǎn)品特點 

● 數(shù)字化產(chǎn)品,雙向流量控制
● 多參數(shù)顯示和輸出:溫度、壓力、流量等
● 多參數(shù)控制:體積流量、質(zhì)量流量和壓力
● 標(biāo)配三種控制方式:數(shù)字、模擬和本地面板
● 可選高精度:可優(yōu)于0.5%
● 高量程比 200:1
● 響應(yīng)時間快 僅需100ms(可調(diào))
● 內(nèi)置98種氣體
● 可現(xiàn)場標(biāo)定混合氣體(zui多5種成分),并存儲20種混合氣

技術(shù)參數(shù) :

介質(zhì)要求:非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類:內(nèi)置了98種氣體,請參考“產(chǎn)品資料下載”氣體兼容表
一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體,用戶可現(xiàn)場選擇
量程:從-0.5SCCM~0.5SCCM 到-3000SLPM~3000SLPM
量程比:200:1
zui大顯示流量:-*FS~*FS
顯示屏:帶按鍵,標(biāo)準(zhǔn)為LCD顯示屏,可選TFT彩色顯示屏
顯示方式:同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精度:± (0.8%RD+0.2%FS),RD-讀數(shù) FS-雙向滿量程
高精度:±(0.4%RD + 0.2%FS),選配
僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設(shè)備
重復(fù)性:± 0.2% FS
零點漂移&滿量程漂移:0.02% FS / ºC / Atm
響應(yīng)時間:100ms(可調(diào)) 預(yù)熱時間:<1s
標(biāo)定工況:25ºC & 100kPa 絕壓、20ºC & 100kPa 絕壓、0ºC & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場可切換)
工作溫度:-10 ~ +50 ºC
工作濕度:0-*,無冷凝
標(biāo)準(zhǔn)zui大工作壓力:1MPa 表壓
標(biāo)準(zhǔn)極限耐壓:1.2MPa 表壓

中壓選項:2MPa
數(shù)字輸入/輸出信號:RS232或RS485或Modbus或Profibus*
模擬輸入/輸出信號:0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA
可選第二路模擬輸出:質(zhì)量流量或體積流量或壓力或溫度
供電電壓:7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出,須為15-30 Vdc)
供電電流:250mA ~ 750mA
電氣接口:8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業(yè)接頭
材質(zhì):302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強(qiáng)尼龍、鋁
黃銅、 430FR 不銹鋼、 硅、 玻璃
安裝方式:對位置無要求 防護(hù)等級:IP40
* 如選Profibus,則無模擬信號,無顯示,其供電電壓及
供電電流需咨詢我們

產(chǎn)品選型 

選項及配件 

●標(biāo)準(zhǔn)性能
多功能數(shù)字顯示屏
顯示多種測量參數(shù):質(zhì)量流量、體積流量、溫度和壓力
低壓損
無需預(yù)熱
Viton密封
8針mini-DIN電信號接口
標(biāo)準(zhǔn)圓形電源接口
RS-232多點式數(shù)字信號輸入&輸出
0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA 多種模擬信號輸入&輸出可選
可調(diào)節(jié)PID算法
內(nèi)置30種氣體可選
200:1 量程可調(diào)比
NPT接頭
有條件的終身質(zhì)保
●可選性能
累加器
6針、DB9或DB15電信號接口
ProfiBUS數(shù)字信號輸出
RS-485數(shù)字信號輸出
第二種模擬信號輸出
遠(yuǎn)程顯示屏
EPDM密封
NeSSI本體
氧氣清潔
SAE接頭
VCR, VCO接頭
5VDC、12VDC、24VDC排氣量報警(過高或過低)
額外標(biāo)定點
定制混個氣體(zui多4種)
不銹鋼閥門
集成式電位計控制

應(yīng)用及案例 

● 大學(xué)/研究所
● 環(huán)境監(jiān)測
● 真空行業(yè)及鍍膜
● 工業(yè)爐窯
● 半導(dǎo)體
● 汽車制造
● 光伏
● 燃料電池
● 計量
● 過程工藝氣體測量


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