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臨界點(diǎn)干燥儀 /MEMS干燥系統(tǒng)

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未來(lái)化學(xué)科技有限公司供應(yīng)進(jìn)口的超臨界CO2干燥儀/臨界點(diǎn)干燥儀/MEMS干燥系統(tǒng),用于微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)的干燥,可同時(shí)處理多個(gè)樣品(晶圓),zui大尺寸可達(dá)8" (8英吋),樣品處理時(shí)間小于一小時(shí)。

超臨界CO2干燥儀,用于*的集成電路和微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)。使用液體和超臨界二氧化碳高效干燥/清洗微電子機(jī)械系統(tǒng)晶圓。利用CO2在超臨界點(diǎn)附近無(wú)表面張力的特性,解決了MEMS生產(chǎn)中產(chǎn)生的靜摩擦,可避免污染晶圓上的微粒。分離器可收集干燥過(guò)程流出的溶劑。

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