KLA Tencor是世界上zui*的微電子和半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)備供應(yīng)商。 Alpha-Step IQ是其第八代臺(tái)階儀。主要應(yīng)用于薄膜厚度測(cè)量、樣品表面形貌測(cè)量、薄膜應(yīng)力測(cè)量、樣品表面粗糙度/波紋度測(cè)量、以及樣品表面三維形貌測(cè)量等眾多領(lǐng)域。

Alpha-Step IQ是*的探針臺(tái)階儀，集高測(cè)量精度、多功能性和經(jīng)濟(jì)性于一體。是生產(chǎn)線及材料分析等應(yīng)用的理想選擇。由于其具有7.5Å (1σ)或0.1%臺(tái)階高度重復(fù)性以及亞埃級(jí)的分辨率。是目前商業(yè)化儀器里（經(jīng)過(guò)市場(chǎng)考驗(yàn)）zui高精度的臺(tái)階儀。是成熟的產(chǎn)品。

Alpha-Step IQ采用天然金剛石（Diamond）作為探頭，經(jīng)久耐用。探針更換簡(jiǎn)便、快速。

主要應(yīng)用于薄膜厚度測(cè)量、樣品表面形貌測(cè)量、薄膜應(yīng)力測(cè)量、樣品表面粗糙度/波紋度測(cè)量、以及樣品表面三維形貌測(cè)量等眾多領(lǐng)域。軟件具有保護(hù)測(cè)針以免發(fā)生損壞功能：
★無(wú)論何時(shí)只要測(cè)針下伸的時(shí)間超過(guò) 60 秒，但仍然沒(méi)有開(kāi)始掃描，測(cè)針將自動(dòng)升起。
★當(dāng)測(cè)針達(dá)到其測(cè)量范圍的上*，測(cè)針自動(dòng)縮回，掃描終止。（備注：當(dāng)測(cè)針達(dá)到其上*，屏幕上的跡線停止上升，而變?yōu)樗?。?
★為了安全起見(jiàn)，可以用程序設(shè)置升降器，使其僅可以降低到一個(gè)預(yù)設(shè)的限制。

Alpha-Step IQ探針掃描是雙方向的，即可以從左向右，又可以從右向左。

Alpha-Step IQ為可為用戶提供中文操作界面，可以提供*（official）中文操作手冊(cè)。

Alpha-Step IQ的軟件友好，功能強(qiáng)大。

可精確測(cè)量納米級(jí)至幾百微米級(jí)臺(tái)階高度；
可分析表面粗糙度
具有7.5Å (1σ)或0.1%臺(tái)階高度重復(fù)性以及亞埃級(jí)的分辨率