掃描三維表面輪廓儀是用于表面結(jié)構(gòu)測量和表面形貌分析的一款測量計(jì)量型設(shè)備。既可以
用于科學(xué)研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測。
1、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度,波紋度，表面結(jié)構(gòu)，缺陷分析，晶粒分析等
2、二維圖像分析：距離,半徑,斜坡,格子圖, 輪廓線等
3、表界面測量：透明表面形貌,薄膜厚度，透明薄膜下的表面
4、薄膜和厚膜的臺階高度測量

高精度
· 的縱向分辨率：0.1 nm （ 接觸式）；2 nm（光學(xué)非接觸式）
· 對周圍環(huán)境和光源的強(qiáng)適應(yīng)性
· 沒有機(jī)械過濾
寬闊的垂直測量范圍
· 多種選擇光學(xué)頭及接觸式
· 縱向掃描范圍 100mm
· 圖像“縫合”技術(shù)使再大的表面也能呈現(xiàn)在一幅圖像內(nèi)
試用于幾乎所有的表面
· 透明，不透明，反射光強(qiáng)等多種材料
· 垂直臺階，高寬深比，隆起，孔洞
· 脆性的材料，軟材料，柔性材料表面
· 尖銳的，堅(jiān)硬的，磨損的表面
適應(yīng)性強(qiáng)
· 白光光源，人體安全設(shè)計(jì)，長壽命白光LED 免維護(hù)?？梢杂糜诟鞣N環(huán)境的實(shí)驗(yàn)室，甚至工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境。
· 接觸式輪廓儀和非接觸式輪廓儀技術(shù)的*結(jié)合
· 接觸式輪廓儀針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動掃描模式，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺掃描使用高級別光學(xué)參考平臺能使長程掃描范圍到50mm。
· 在掃描過程中結(jié)合彩色光學(xué)照相機(jī)可對樣品直接觀察
· 針尖掃描采用雙光學(xué)傳感器，同時(shí)擁有寬闊測量動態(tài)范圍（zui大至500μm）及亞納米級垂直分辨率?。▃ui?。?１nm ）
· 軟件設(shè)置恒定微力接觸（0.1 to 100 [mg]）

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