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通過多功能寬密度等離子體可以研究離子與材料間的作用

閱讀:234      發(fā)布時間:2020-12-26
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  通過多功能寬密度等離子體可以研究離子與材料間的作用
 
  多功能寬密度等離子體是一臺可以產(chǎn)生和維持一直線段穩(wěn)態(tài)等離子體的裝置,包含有真空系統(tǒng)、磁約束系統(tǒng)、等離子體源、真空系統(tǒng)、等離子體診斷系統(tǒng)、電源和其他輔助系統(tǒng)組成。
 
  多功能寬密度等離子體通過探針、樣品臺等工具,可研究等離子體與材料相互作用的基礎(chǔ)問題,如材料的物理濺射和化學(xué)刻蝕、材料中氫和氦滯留/起泡問題、等離子體破裂對材料的影響模擬等,也可以通過窗口輸入微波,進(jìn)行等離子體與波相互作用的研究,其用途十分廣泛。
 
  據(jù)悉,多功能寬密度等離子體是目前國內(nèi)比較大的直線等離子體裝置,其真空室直徑500mm,長度6米,并且由于其直線裝置的*結(jié)構(gòu),后期可以根據(jù)物理實(shí)驗(yàn)的需求在此基礎(chǔ)上延長。在研制過程中,中心克服了多磁場不易耦合的問題,與等離子體所十二室參建人員一起找到了磁場共振位置。其直流放電等離子體密度在真空室中心磁鏡弱處達(dá)到1650G,等離子體密度可達(dá)1015m-3,并且磁場位形可根據(jù)實(shí)驗(yàn)需要進(jìn)行調(diào)整,實(shí)現(xiàn)4:1的磁鏡比,單次實(shí)驗(yàn)可穩(wěn)定連續(xù)工作10小時以上。
 
  為了便于未來物理實(shí)驗(yàn)的需求,研制中心在設(shè)計(jì)時采取了模塊化拆裝的方式,避免了每一次試驗(yàn)的破壞性拆裝。同時,在充分考慮后續(xù)實(shí)驗(yàn)需求的基礎(chǔ)上,特別為裝置預(yù)留了匹配13.56MHz的射頻補(bǔ)償和微波加熱位置。

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