1、單酸堿:硫酸、氨水、雙氧水、磷酸、硝酸、鹽酸、冰醋酸、氫氧化鉀、氫氧化鈉等。
2、作用:電子級強(qiáng)酸強(qiáng)堿多應(yīng)用于半導(dǎo)體制造過程中對零部件的腐蝕和清洗,表面處理中。
3、SEMI等級標(biāo)準(zhǔn):電子化學(xué)品的判定通常采用電子化學(xué)品SEMI國際標(biāo)準(zhǔn)等級表。
電子化學(xué)品SEMI國際標(biāo)準(zhǔn)等級表
SEMI等級 | IC線寬 | 金屬雜質(zhì) | 控制粒徑 | 顆粒(個/mL) |
C1 | >1.2 | ≤1000(1ppm) | ≤1.0 | ≤25 |
C7 | 0.8~1.2 | ≤10(10ppb) | ≤0.5 | ≤25 |
C8 | 0.2~0.6 | ≤1.0(1ppb) | ≤0.5 | ≤3 |
C12 | 0.09~0.2 | ≤0.1(0.1ppb) | ≤0.2 |
4、判定儀器和液樣:
使用儀器:PMT-2 液體顆粒計數(shù)器,防腐型,檢測范圍0.1-1.0um,檢測粒徑0.1、0.2、0.5、1.0um。
液樣:硫酸、氫氧化鈉
5、檢測結(jié)論:
看檢測結(jié)果里的積分值,看≥0.1的粒子數(shù)量,≥0.2的粒子數(shù)量,≥0.5的粒子數(shù)量。參照數(shù)量的個數(shù)來判定所測樣品達(dá)到那個級別的。
應(yīng)用:化學(xué)品生產(chǎn)商一般在實驗室使用離線取樣檢測的方式。抽取產(chǎn)線上數(shù)個液樣,按照批次來進(jìn)行檢測。反應(yīng)所生產(chǎn)液樣的工藝是否達(dá)標(biāo)。
6、注意事項:
確保儀器的準(zhǔn)確性:在使用前應(yīng)對儀器進(jìn)行校準(zhǔn),以確保檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性。
避免交叉污染:清洗容器,避免容器壁上的顆粒進(jìn)入檢測液樣;在百級清潔環(huán)境里進(jìn)行檢測,避免空氣中的大顆粒進(jìn)入檢測液樣。
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