南京實驗室特氣供氣系統(tǒng)設(shè)計安裝特氣供氣系統(tǒng)

半導(dǎo)體、光伏、LED、TFT_LCD、光纖、科研院等行業(yè)的客戶在工藝制程中會使用到易燃易爆/有毒有害/腐蝕性等各類特種氣體SiH4, NH3, Cl2等；特氣供氣系統(tǒng)就是把各種特種氣體在滿足工藝制程要求的純度、壓力和流量的前提下安全穩(wěn)定的供應(yīng)到工藝設(shè)備內(nèi)。

南京實驗室特氣供氣系統(tǒng)設(shè)計安裝特氣供氣系統(tǒng)組成部分

主要部件：特氣系統(tǒng)主要包括氣源供應(yīng)(特氣柜、BSGS)、特氣分配(VMB)、特氣輸送(管道閥門等)、工藝過程控制(PLC自動控制器)、以及氣體泄漏偵測、尾氣處理等主要模塊。

二、特氣柜/氣瓶架

用于半導(dǎo)體和LCD微電子等行業(yè)的特殊氣體輸送系統(tǒng)，特氣柜通常用于有毒、易燃、腐蝕性氣體，氣瓶架可用于惰性氣體。

☆根據(jù)客戶實際情況自行設(shè)計、量身定制，安全美觀、實用方便；

☆柜體采用3mm鋼板，堅固防爆，觀察窗口采用安全玻璃；

☆PLC控制和觸摸屏操作，實現(xiàn)全自動鋼瓶切換操作，簡便直接；

☆可配備多路通訊端口供選擇；

☆底座可加裝電子秤；

三、氣體分配箱/分配盤面

適用于半導(dǎo)體和微電子行業(yè)特殊氣體輸送系統(tǒng)，分配箱多用于有毒、易燃、腐蝕性氣體，分配盤面一般用于惰性氣體；

☆主要起到對特氣柜出來的氣體進(jìn)行二次分配的作用；

☆分為全自動、半自動和手動控制；

☆吹掃、真空功能可選；

        
四、特氣輸送管路/二次配管

五、尾氣處理系統(tǒng)

根據(jù)需處理的氣體種類不同，通過合適的燃燒、水洗、吸附、化學(xué)反應(yīng)等對工藝機臺排放的有毒有害尾氣進(jìn)行無害化處理，達(dá)到環(huán)保排放標(biāo)準(zhǔn)。

六、氣體監(jiān)控系統(tǒng)

GMS/UMS氣體中央監(jiān)控系統(tǒng)，通過上位機遠(yuǎn)程顯示特氣房內(nèi)BSGS/GC/CDS實時運行界面以及實時運行數(shù)據(jù), 實時顯示各個偵測器的數(shù)據(jù)以及偵測器的運行狀態(tài), 實時顯示VMB壓力值, 雙套管夾套壓力數(shù)據(jù)采集, 當(dāng)壓力超限后報警；相應(yīng)BSGS/GC/VMB的緊急切斷, 當(dāng)發(fā)生2級氣體泄漏報警后，系統(tǒng)自動根據(jù)預(yù)先設(shè)定的程序切斷BSGS/GC的主供氣閥門； 數(shù)據(jù)及報警的歸檔和打印, 重要的數(shù)據(jù)和報警都進(jìn)行歸檔，可以查看歷史數(shù)據(jù)以了解過程中的工作狀況，并可以將需要的數(shù)據(jù)打印出來。

七、特殊定制服務(wù)

對客戶儀器設(shè)備上需要的各種非標(biāo)高純潔凈系統(tǒng)提供高質(zhì)量代加工服務(wù)。