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微機電系統(tǒng)，也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)（半導體制造技術(shù)）基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。

微機電系統(tǒng)是一種先進的制造技術(shù)平臺。它是以半導體制造技術(shù)為基礎(chǔ)發(fā)展起來的。MEMS技術(shù)采用了半導體技術(shù)中的光刻、腐蝕、薄膜等一系列的現(xiàn)有技術(shù)和材料，因此從制造技術(shù)本身來講，MEMS中基本的制造技術(shù)是成熟的。但MEMS更側(cè)重干超精密機械加工，并要涉及微電子、材料、力學、化學、機械學諸多學科領(lǐng)域。它的學科面也擴大到微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理學的各分支。（文章部分來源于網(wǎng)絡(luò)）

華測精密壓電 MEMS 分析儀/微機電系統(tǒng)將數(shù)字、模擬和通信電路功能與精密多鐵非線性材料試驗機的現(xiàn)有非線性材料測量功能相結(jié)合，所有功能均由 Radiant 的 Vision 可編程測試環(huán)境監(jiān)督。PiezoMEMS分析儀不僅測量商業(yè)產(chǎn)品的致動器和傳感器元件的壓電特性，還將與產(chǎn)品的電子邏輯通信，與嵌入式微處理器通信，提供異步電壓和脈沖，并測量傳感器頻率。