半導(dǎo)體領(lǐng)域國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室有哪些?
半導(dǎo)體照明聯(lián)合創(chuàng)新國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室
為培育戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè),整合業(yè)內(nèi)技術(shù)、人才、信息等資源,實(shí)現(xiàn)投入少、回報(bào)高、見(jiàn)效快的技術(shù)創(chuàng)新模式,提升我國(guó)半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)自主創(chuàng)新能力和速度,在、等六部門(mén)聯(lián)合發(fā)布的《關(guān)于推動(dòng)產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟構(gòu)建的指導(dǎo)意見(jiàn)》指導(dǎo)下,根據(jù)要求試點(diǎn)聯(lián)盟積極探索整合資源,構(gòu)建產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新平臺(tái)的精神,在基礎(chǔ)司和政策法規(guī)司的共同推動(dòng)下,于2012年1月正式批復(fù)依托半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟建設(shè)半導(dǎo)體照明聯(lián)合創(chuàng)新國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。
這是我國(guó)個(gè)依托聯(lián)盟建立的國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,是一個(gè)體制機(jī)制*創(chuàng)新的公共研發(fā)平臺(tái),始終堅(jiān)持以產(chǎn)業(yè)價(jià)值為核心價(jià)值的理念,以產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新需求為基礎(chǔ),以完善技術(shù)創(chuàng)新鏈為目標(biāo),企業(yè)以項(xiàng)目資金投入,科研機(jī)構(gòu)、大學(xué)和其他社會(huì)組織以研發(fā)人員和設(shè)備的使用權(quán)投入,充分利用和整合現(xiàn)有資源,探索形成多種形式的政產(chǎn)學(xué)研用協(xié)同創(chuàng)新模式,推動(dòng)建立基礎(chǔ)研究、應(yīng)用研究、成果轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)化、先進(jìn)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)研制緊密結(jié)合、協(xié)調(diào)發(fā)展機(jī)制探索持續(xù)性投入機(jī)制,逐步形成可持續(xù)發(fā)展的開(kāi)放的、化的非營(yíng)利研究實(shí)體,成為半導(dǎo)體照明的技術(shù)創(chuàng)新中心、人才培養(yǎng)中心、標(biāo)準(zhǔn)研制中心和產(chǎn)業(yè)化輻射中心。2013年1月實(shí)驗(yàn)室在荷蘭設(shè)立其海外研發(fā)實(shí)體機(jī)構(gòu)—“半導(dǎo)體照明聯(lián)合創(chuàng)新國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室代爾夫特研究中心”,成為中國(guó)在海外建立分中心的國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。
半導(dǎo)體照明聯(lián)合創(chuàng)新國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室儀器配置 |
五分類(lèi)* |
制備液相 |
* |
激光共聚焦顯微鏡 |
液相色譜/三重串聯(lián)四極桿質(zhì)譜聯(lián)用系統(tǒng) |
分析液相 |
色譜儀 |
LED照明燈具全部光通量在線(xiàn)加速測(cè)試設(shè)備 |
部分光通量加速壽命在線(xiàn)測(cè)試評(píng)估系統(tǒng) |
高溫試驗(yàn)箱 |
LFC(LightFluxColor)光度色度測(cè)試系統(tǒng) |
半導(dǎo)體分立器件測(cè)試儀 |
微波式打膠機(jī) |
化學(xué)清洗工作臺(tái) |
感應(yīng)耦合等離子刻蝕機(jī)ICP |
電子束蒸發(fā)臺(tái)(金屬) |
電子束蒸發(fā)臺(tái)(ITO) |
電鍍臺(tái) |
快速合金爐 |
石墨烯生長(zhǎng)系統(tǒng) |
臺(tái)階儀 |
激光晶圓劃片設(shè)備 |
裂片機(jī) |
激光剝離機(jī) |
鍵合機(jī) |
水平減薄機(jī) |
單面研磨機(jī) |
數(shù)控點(diǎn)膠機(jī) |
噴射式點(diǎn)膠機(jī) |
光學(xué)鍍膜系統(tǒng) |
超聲波金絲球壓焊機(jī) |
LED全光功率測(cè)試系統(tǒng) |
LED自動(dòng)分選機(jī) |
熱特性測(cè)試設(shè)備 |
半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀 |
低溫強(qiáng)磁場(chǎng)物性測(cè)試系統(tǒng)(EMMS) |
LED光電綜合測(cè)試系統(tǒng) |
LED抗靜電測(cè)試儀 |
激光納米粒度及Zeta電位測(cè)試儀 |
LED照明產(chǎn)品光電熱綜合測(cè)試 |
高頻小信號(hào)測(cè)試系統(tǒng) |
紫外LED光譜功率測(cè)試系統(tǒng) |
手動(dòng)共晶焊貼片機(jī) |
熒光光譜儀(PI) |
高速自動(dòng)固晶機(jī) |
自動(dòng)擴(kuò)膜機(jī) |
全自動(dòng)晶圓植球機(jī) |
倒裝機(jī) |
高精度快速光譜輻射計(jì) |
近紫外-可見(jiàn)-紅外光譜測(cè)試系統(tǒng) |
熱電性能分析儀 |
氫化物氣相外延 |
熒光光譜儀(PL) |
X射線(xiàn)衍射儀(XRD) |
掃描電子顯微鏡(SEM) |
手動(dòng)共晶焊貼片機(jī)(UDB-141) |
激光晶圓劃片設(shè)備 |
電子束蒸發(fā)臺(tái)(金屬) |
等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積PECVD |
光刻機(jī) |
MOCVD |
數(shù)據(jù)定時(shí)脈沖發(fā)生器 |
頻譜分析儀 |
光源光色電綜合測(cè)試系統(tǒng) |
超聲波掃描顯微鏡 |
漏電流測(cè)試儀 |
智能數(shù)字式燈頭扭矩儀 |
邏輯分析儀 |
半導(dǎo)體超晶格國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室
半導(dǎo)體超晶格國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室于1988年3月由國(guó)家計(jì)委組織專(zhuān)家論證并批準(zhǔn)后開(kāi)始籌建,1990年開(kāi)始對(duì)外開(kāi)放,1991年11月通過(guò)了由國(guó)家計(jì)委組織的驗(yàn)收委員會(huì)驗(yàn)收。現(xiàn)任實(shí)驗(yàn)室主任為王開(kāi)友研究員。實(shí)驗(yàn)室學(xué)術(shù)委員會(huì)主任為高鴻鈞院士。
實(shí)驗(yàn)室以研究和探索半導(dǎo)體體系中的新現(xiàn)象和新效應(yīng)為主要目標(biāo),通過(guò)對(duì)固體半導(dǎo)體中的電子、自旋和光子的調(diào)控,探索其在電子/自旋量子信息技術(shù)、光電子及光子器件中的潛在應(yīng)用,從最基礎(chǔ)的層面上提升我國(guó)電子、光電子、光子信息技術(shù)的創(chuàng)新能力,提升我國(guó)在半導(dǎo)體研究領(lǐng)域的競(jìng)爭(zhēng)力。實(shí)驗(yàn)室先后有5位成院士、12位成長(zhǎng)為國(guó)家杰出青年基金獲得者。為我國(guó)半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)的跨躍式發(fā)展做出重要貢獻(xiàn)。
實(shí)驗(yàn)室現(xiàn)有人員中包括研究員26人、高級(jí)工程師1人和管理人員1人,其院士、9位國(guó)家杰出青年基金獲得者、3位優(yōu)秀青年科學(xué)基金獲得者、1位北京杰出青年基金獲得者。
自成立以來(lái),實(shí)驗(yàn)室承擔(dān)了近百個(gè)、基金委和的重大和重點(diǎn)項(xiàng)目,取得了可喜的科研成果,獲得國(guó)家自然科學(xué)獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)5項(xiàng);黃昆先生獲得2001年度國(guó)家科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)。2004年半導(dǎo)體超晶格國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室被授予國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室計(jì)劃先進(jìn)集體稱(chēng)號(hào)。實(shí)驗(yàn)室具有良好的科研氛圍、科研設(shè)備和環(huán)境條件,擁有雄厚的科研積累和奮發(fā)向上的科研團(tuán)隊(duì),并多次獲得國(guó)家自然基金委員會(huì)的創(chuàng)新研究群體科學(xué)基金。
實(shí)驗(yàn)室每年可接收40名碩士、博士研究生和博士后?,F(xiàn)有研究生和博士后100余人。
*半導(dǎo)體超晶格國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室儀器配置情況未公布
高功率半導(dǎo)體激光重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室
高功率半導(dǎo)體激光國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室成立于1997年,由原國(guó)防科工委和原兵器工業(yè)總公司投資建設(shè),經(jīng)過(guò)二十年的發(fā)展建設(shè),實(shí)驗(yàn)室已經(jīng)成為我國(guó)光電子領(lǐng)域的重要研究基地和人才培養(yǎng)基地之一。現(xiàn)有科研、辦公面積3800平方米,超凈實(shí)驗(yàn)室面積為1500平方米;生產(chǎn)開(kāi)發(fā)平臺(tái)面積為600平方米,其中超凈實(shí)驗(yàn)室面積為200平方米。
現(xiàn)有博士學(xué)位一級(jí)學(xué)科2個(gè)、碩士學(xué)位一級(jí)學(xué)科2個(gè)、國(guó)防特色學(xué)科1個(gè)、博士后科研流動(dòng)站1個(gè)。實(shí)驗(yàn)室有研究人員36人,其中雙聘院士1人、教授9人、副教授10人,博士生導(dǎo)師10人,重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃總體專(zhuān)家1人,國(guó)家獎(jiǎng)評(píng)審專(zhuān)家1人,國(guó)防科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)評(píng)審專(zhuān)家1人,吉林省長(zhǎng)白山學(xué)者1人。實(shí)驗(yàn)室現(xiàn)有MBE、MOCVD等先進(jìn)的半導(dǎo)體材料外延生長(zhǎng)設(shè)備,SEM、XRD、PL等完善的材料分析檢測(cè)手段,電子束蒸發(fā)、磁控濺射、芯片解理、貼片、激光焊接、平行封焊、綜合測(cè)試等工藝設(shè)備,設(shè)備資產(chǎn)1.2億元,為光電子領(lǐng)域的相關(guān)研究提供了的條件支撐。
在半導(dǎo)體激光研究方向上,高功率半導(dǎo)體激光國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室代表著國(guó)家水平,研制的半導(dǎo)體激光器單管輸出功率大于10瓦、光纖耦合模塊大于100瓦、以及高頻調(diào)制、脈沖輸出等半導(dǎo)體激光器組件,技術(shù)處于國(guó)內(nèi)水平;在基礎(chǔ)研究領(lǐng)域,深入開(kāi)展了GaSb材料的外延生長(zhǎng)理論及技術(shù)研究,研究成果達(dá)到水平;在半導(dǎo)體激光應(yīng)用基礎(chǔ)技術(shù)研究領(lǐng)域,堅(jiān)持以滿(mǎn)足裝備應(yīng)用為目標(biāo),研制的駕束制導(dǎo)半導(dǎo)體激光發(fā)射器成功用于我軍現(xiàn)役主戰(zhàn)坦克系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)了駕束制導(dǎo)領(lǐng)域跨越式發(fā)展;研制的激光敏感器組件已經(jīng)用于空軍某型號(hào)末中,并將在多個(gè)平臺(tái)上推廣應(yīng)用。近年來(lái),實(shí)驗(yàn)室在國(guó)內(nèi)外重要學(xué)術(shù)刊物上發(fā)表論文600余篇,出版專(zhuān)著7部,獲國(guó)家、省部級(jí)獎(jiǎng)勵(lì)40余項(xiàng),申請(qǐng)發(fā)明50余項(xiàng),鑒定成果40余項(xiàng),對(duì)我國(guó)的國(guó)防裝備發(fā)展作出了重要貢獻(xiàn)。
高功率半導(dǎo)體激光重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室儀器配置 |
感應(yīng)耦合等離子體刻蝕 |
掃描電子顯微鏡 |
光刻機(jī) |
磁控濺射鍍膜機(jī) |
等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) |
X射線(xiàn)雙晶衍射儀 |
光刻機(jī) |
快速圖譜儀 |
電化學(xué)C-V分布測(cè)試儀,PN4300,英國(guó)伯樂(lè) |
光熒光譜儀 |
特種光纖熔接機(jī) |
丹頓電子束鍍膜機(jī) |
SVT超高真空解理機(jī) |
光譜分析儀 |
萊寶電子束鍍膜機(jī) |
半導(dǎo)體激光器芯片貼片機(jī) |
金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉淀(MOCVD) |
磁控濺射臺(tái) |
電子薄膜與集成器件國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室
電子薄膜與集成器件國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室是以新型傳感器重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、電子信息材料重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室和功率半導(dǎo)體技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室為基礎(chǔ)于2006年7月建立的。
目前,實(shí)驗(yàn)室緊密?chē)@國(guó)家IT領(lǐng)域的戰(zhàn)略目標(biāo),立足于電子信息材料與器件的發(fā)展前沿,堅(jiān)持需求與發(fā)展并舉、理論與實(shí)踐并重,致力于新型電子薄膜材料與集成電子器件的研究和開(kāi)發(fā),促進(jìn)材料—器件—微電子技術(shù)的交叉和集成。
實(shí)驗(yàn)室現(xiàn)有研究人員80人,管理人員6人,技術(shù)人員3人;客座研究人員18人。在固定研究人員中已形成以陳星弼院士為帶頭人的一支以45歲左右為核心、35歲左右為主力的骨干研究隊(duì)伍。隊(duì)伍中包院士1人,院士1人,國(guó)家自然基金委創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)2個(gè),國(guó)防科技創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)1人,創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)2人,博導(dǎo)58人。實(shí)驗(yàn)室擁有1個(gè)國(guó)家重點(diǎn)學(xué)科、5個(gè)博士點(diǎn)以及5個(gè)碩士點(diǎn),已具備每年250名左右碩士生、40名左右博士生、20名左右博士后的人才培養(yǎng)規(guī)模。
實(shí)驗(yàn)室覆蓋了微電子學(xué)與固體電子學(xué)、電子材料與元器件、材料科學(xué)與工程、材料物理化學(xué)、材料學(xué)5個(gè)博士點(diǎn)學(xué)科,擁有電子科學(xué)與技術(shù)、材料科學(xué)與工程2個(gè)博士后流動(dòng)站,其中微電子學(xué)與固體電子學(xué)為國(guó)家重點(diǎn)學(xué)科。實(shí)驗(yàn)室面積近4000 m2,擁有儀器設(shè)備500余套,價(jià)值8000余萬(wàn)人民幣。已初步建成具有水平的“材料與器件制造工藝平臺(tái)”、“微細(xì)加工平臺(tái)”、“電磁性能測(cè)試與微結(jié)構(gòu)表征平臺(tái)”和“集成電路設(shè)計(jì)平臺(tái)”,具備承擔(dān)國(guó)家重大基礎(chǔ)研究項(xiàng)目的能力。
近5年,實(shí)驗(yàn)室科研工作碩果累累。目前,實(shí)驗(yàn)室共承擔(dān)包括國(guó)家自然基金、973、863等各類(lèi)項(xiàng)目在內(nèi)的民口縱向項(xiàng)目和校企合作項(xiàng)目等科技項(xiàng)目共約200余項(xiàng),總經(jīng)費(fèi)達(dá)2億元,其中,2009年的科研經(jīng)費(fèi)超過(guò)7000萬(wàn)元??蒲谐晒@獎(jiǎng)勵(lì)7項(xiàng),省部級(jí)獎(jiǎng)24項(xiàng),市級(jí)獎(jiǎng)5項(xiàng),申請(qǐng)發(fā)明150余項(xiàng),獲得包括美國(guó)發(fā)明在內(nèi)的40余項(xiàng),發(fā)表學(xué)術(shù)論文1000余篇,出版學(xué)術(shù)專(zhuān)著和教材7部。取得了包括“新耐壓層與全兼容功率器件”等一系列標(biāo)志性成果。實(shí)驗(yàn)室堅(jiān)持面向社會(huì),服務(wù)社會(huì),致力于科研成果的推廣和應(yīng)用,“半導(dǎo)體陶瓷電容器”、“功率鐵氧體及寬頻雙性復(fù)合材料”、“集成電路系列產(chǎn)品”等科研成果的成功轉(zhuǎn)化,企業(yè)取得4億多元的直接經(jīng)濟(jì)效益及良好的社會(huì)效益。
*電子薄膜與集成器件國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室儀器配置情況未公布
專(zhuān)用集成電路與系統(tǒng)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室
專(zhuān)用集成電路與系統(tǒng)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室(復(fù)旦大學(xué))于1989年經(jīng)國(guó)家計(jì)委批準(zhǔn)建設(shè),1995年9月正式通過(guò)國(guó)家驗(yàn)收。實(shí)驗(yàn)室依托復(fù)旦大學(xué)國(guó)家重點(diǎn)一級(jí)學(xué)科“電子科學(xué)與技術(shù)”,以及“微電子學(xué)與固體電子學(xué)”與“電路與系統(tǒng)”兩個(gè)國(guó)家重點(diǎn)二級(jí)學(xué)科。
實(shí)驗(yàn)室面向集成電路主流的學(xué)術(shù)前沿問(wèn)題和國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重大需求,聚焦高能效系統(tǒng)芯片及其核心IP設(shè)計(jì),開(kāi)展數(shù)字、射頻與數(shù)?;旌闲盘?hào)集成電路設(shè)計(jì)創(chuàng)新研究,同時(shí)進(jìn)行新器件新工藝和納米尺度集成電路設(shè)計(jì)方法學(xué)的研究。形并滿(mǎn)足國(guó)家戰(zhàn)略需求的標(biāo)志性創(chuàng)新成果,使實(shí)驗(yàn)室成為我國(guó)在集成電路設(shè)計(jì)方向上科學(xué)研究、技術(shù)創(chuàng)新與高層次人才培養(yǎng)具有重要影響力的基地,為我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)尤其是集成電路設(shè)計(jì)產(chǎn)業(yè)的跨越式發(fā)展做出重大貢獻(xiàn)。
瞄準(zhǔn)集成電路發(fā)展前沿,面向國(guó)家重大需求,面向國(guó)民經(jīng)濟(jì)主戰(zhàn)場(chǎng),緊緊圍繞主要研究方向,實(shí)驗(yàn)室承擔(dān)了大量國(guó)家863計(jì)劃、973計(jì)劃、國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)、國(guó)家自然科學(xué)基金、國(guó)防預(yù)研項(xiàng)目、省部級(jí)項(xiàng)目以及各類(lèi)合作項(xiàng)目,在重要刊物和會(huì)議上發(fā)表大量高質(zhì)量學(xué)術(shù)論文,獲得多項(xiàng)發(fā)明,榮獲多項(xiàng)二等獎(jiǎng)、省部級(jí)一等獎(jiǎng)、二等獎(jiǎng)等獎(jiǎng)項(xiàng)。
實(shí)驗(yàn)室現(xiàn)有固定人員68人,其中,教授(研究員)43人,包括院士1人,國(guó)家入選者5人,國(guó)家青年千人2人,國(guó)家杰出基金獲得者4人,長(zhǎng)江學(xué)者特聘教授2人、IEEE Fellow 1人。在實(shí)驗(yàn)室現(xiàn)有固定人員中,有多名國(guó)家和部委聘任的科技專(zhuān)家,包括1名國(guó)家“核心電子器件、通用芯片及基礎(chǔ)軟件產(chǎn)品”科技重大專(zhuān)項(xiàng)專(zhuān)家,2名國(guó)家“極大規(guī)模集成電路裝備和成套工藝”科技重大專(zhuān)項(xiàng)專(zhuān)家,4名科技術(shù)“863”計(jì)劃專(zhuān)家?guī)鞂?zhuān)家。按照“創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)+優(yōu)秀研究小組”的建設(shè)思路,打造了實(shí)驗(yàn)室年輕化、團(tuán)隊(duì)化、化的研究隊(duì)伍。
實(shí)驗(yàn)室擁有器件與工藝子平臺(tái)環(huán)境和集成電路設(shè)計(jì)環(huán)境。器件與工藝子平臺(tái)現(xiàn)有千級(jí)凈化面積約600平方米,百級(jí)凈化面積100平方米,配備了價(jià)值近1億元的設(shè)備,具有開(kāi)展先進(jìn)納米CMOS器件和工藝的研發(fā)能力。集成電路設(shè)計(jì)環(huán)境已可提供Cadence、Mentor Graphics、Synopsys、Altera、Xilinx等公司軟件環(huán)境,提供相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)化仿真模型,支持教學(xué)、科研、產(chǎn)品設(shè)計(jì)與制造。實(shí)驗(yàn)室平臺(tái)本著“集中、共享、升級(jí)、開(kāi)放”的原則為實(shí)驗(yàn)室的科學(xué)研究服務(wù)。
實(shí)驗(yàn)室積極開(kāi)展多渠道學(xué)術(shù)交流,承辦ICSICT、ASICON等多個(gè)重要會(huì)議,參加學(xué)術(shù)會(huì)議并做特邀報(bào)告,積極開(kāi)展科技合作和交流。依托“重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室高級(jí)訪(fǎng)問(wèn)學(xué)者基金”和設(shè)立開(kāi)放課題,吸引國(guó)內(nèi)外高水平研究人員來(lái)實(shí)驗(yàn)室開(kāi)展合作研究,加強(qiáng)了實(shí)驗(yàn)室研究的前瞻性和化程度。
專(zhuān)用集成電路與系統(tǒng)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室儀器配置 |
熱阻蒸發(fā)鍍膜設(shè)備 |
化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) |
全自動(dòng)探針臺(tái) |
存儲(chǔ)器參數(shù)測(cè)試系統(tǒng) |
半導(dǎo)體存儲(chǔ)器參數(shù)測(cè)試儀 |
掃描探針顯微鏡 |
手動(dòng)探針臺(tái) |
電學(xué)測(cè)試系統(tǒng) |
臺(tái)階分析儀 |
芯片測(cè)試系統(tǒng) |
柔性四件組裝加工手套箱 |
大面積柔性三維光刻 |
柔性電子制造設(shè)備 |
亞微米級(jí)貼片設(shè)備 |
無(wú)線(xiàn)和微波頻段測(cè)試系統(tǒng) |
激光鍵合設(shè)備 |
臺(tái)式掃描式電子顯微鏡 |
柔性四件電化學(xué)加工測(cè)試平臺(tái) |
高性能頻譜分析儀 |
高性能頻譜分析儀 |
等離子刻蝕系統(tǒng) |
實(shí)驗(yàn)室電路板快速系統(tǒng)(激光機(jī)) |
射頻探針臺(tái) |
原位納米力學(xué)測(cè)試系統(tǒng) |
超低溫手動(dòng)探針臺(tái) |
智能型傅立葉紅外光譜分析儀 |
顯微喇曼/熒光光譜儀 |
數(shù)字電視芯片測(cè)試系統(tǒng) |
氣相沉積系統(tǒng) |
薄膜沉積系統(tǒng) |
化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) |
超高真空激光分子束系統(tǒng) |
原子層淀積系統(tǒng) |
矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀 |
微波退火設(shè)備 |
準(zhǔn)分子氣體激光器 |
高精密電學(xué)測(cè)試探針臺(tái) |
納米熱分析系統(tǒng) |
信號(hào)源分析儀 |
頻譜分析儀 |
X射線(xiàn)衍射儀 |
矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀 |
矢量信號(hào)源 |
實(shí)時(shí)示波器 |
橢圓偏振光譜儀 |
硬件加速仿真驗(yàn)證儀 |
頻譜分析儀 |
矢量信號(hào)發(fā)生器 |
矢量信號(hào)分析儀 |
銅互連超薄籽晶層集成濺射和測(cè)試系統(tǒng) |
半導(dǎo)體晶片探針臺(tái) |
互連銅導(dǎo)線(xiàn)成分分析儀 |
化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) |
低介電常數(shù)介質(zhì)電容(K值)測(cè)試設(shè)備 |
微細(xì)加工ICP刻蝕機(jī) |
快速熱退火系統(tǒng) |
探針測(cè)試臺(tái) |
半導(dǎo)體參數(shù)分析儀 |
白光干涉儀 |
桌上型化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備 |
納米壓印設(shè)備 |
原子層淀積系統(tǒng) |
高精度探針臺(tái) |
探針測(cè)試臺(tái) |
納米器件濺射儀 |
存儲(chǔ)薄膜濺射儀 |
原子層化學(xué)氣相沉淀系 |
等離子反應(yīng)離子刻蝕機(jī) |
物理氣相淀積系統(tǒng) |
等離子體增強(qiáng)介質(zhì)薄膜 |
化學(xué)機(jī)械拋光系統(tǒng) |
銅電鍍系統(tǒng) |
集成光電子學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室
集成光電子學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室成立于1987年,1991年正式對(duì)外開(kāi)放。現(xiàn)由吉林大半導(dǎo)體研究所兩個(gè)實(shí)驗(yàn)區(qū)聯(lián)合組成。在1994年、2004年國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室建立十周年以及二十周年總結(jié)表彰大會(huì)上,被評(píng)為“國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室先進(jìn)集體“,并獲“金牛獎(jiǎng)”。在2002年、2007年、2012年信息領(lǐng)域國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室評(píng)估中,連續(xù)三次被評(píng)為“優(yōu)秀實(shí)驗(yàn)室”,2017年被評(píng)為“良好實(shí)驗(yàn)室”。
研究方向包括有機(jī)光電器件、寬禁帶半導(dǎo)體材料與器件、超快光電子、納米光電子、能源光電技術(shù)五個(gè)研究方向。實(shí)驗(yàn)室重點(diǎn)研究基于半導(dǎo)體光電子材料、有機(jī)光電子材料、微納光電子材料的各種新型光電子器件以及光子集成器件和芯片,研究上述器件及芯片在光纖通信系統(tǒng)與網(wǎng)絡(luò)、信息處理與顯示中的應(yīng)用技術(shù)。研究?jī)?nèi)容為:半導(dǎo)體光電子材料(包括低維量子結(jié)構(gòu)材料)、有機(jī)光電子材料、微納光電子材料;新型光電子器件物理(包括器件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與模擬);基于上述材料的光電子集成器件的制作工藝及其功能芯片集成技術(shù);光電子器件及芯片在光通信、光互連、光顯示、光電傳感方面應(yīng)用技術(shù)研究。
*集成光電子學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室儀器配置情況未公布
浙江大學(xué)硅材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室
1985年,在浙江大學(xué)半導(dǎo)體材料研究所的基礎(chǔ)上,由原國(guó)家計(jì)委批準(zhǔn)建設(shè)硅材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室(原名高純硅及硅烷國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室),88年正式對(duì)外開(kāi)放。是國(guó)內(nèi)建立的國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室之一。以重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室為依托的浙江大學(xué)材料物理與化學(xué)學(xué)科(原半導(dǎo)體材料學(xué)科)一直是全國(guó)重點(diǎn)學(xué)科,1978年獲批*批碩士點(diǎn)(半導(dǎo)體材料),1985年獲批個(gè)半導(dǎo)體材料工學(xué)博士點(diǎn)。
從上世紀(jì)50年代開(kāi)始,浙江大學(xué)在硅烷法制備多晶硅提純技術(shù)、摻氮直拉硅單晶生長(zhǎng)技術(shù)基礎(chǔ)研究等取得系列重大成果,在上占有*的地位;同時(shí),實(shí)驗(yàn)室一直堅(jiān)持“產(chǎn)、學(xué)、研”緊密結(jié)合,培育出浙江金瑞泓科技股份有限公司等國(guó)內(nèi)硅材料的,取得顯著經(jīng)濟(jì)效益。自上世紀(jì)90年代以來(lái),實(shí)驗(yàn)室研究方向不斷拓寬。目前,實(shí)驗(yàn)室以硅為核心的半導(dǎo)體材料為重點(diǎn),包括半導(dǎo)體硅材料、半導(dǎo)體薄膜材料、復(fù)合半導(dǎo)體材料以及微納結(jié)構(gòu)與材料物理等研究方向。
2013年至2017年期間,實(shí)驗(yàn)室共獲得國(guó)家自然科學(xué)二等獎(jiǎng)2項(xiàng),國(guó)家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)2項(xiàng)
,浙江省科學(xué)技術(shù)(發(fā)明)一等獎(jiǎng)5項(xiàng),技術(shù)發(fā)明一等獎(jiǎng)1項(xiàng)。江西、湖北省科學(xué)技術(shù)進(jìn)步(技術(shù)發(fā)明)一等獎(jiǎng)各1項(xiàng)(合作),自然科學(xué)二等獎(jiǎng)1項(xiàng),浙江省科學(xué)技術(shù)進(jìn)步二等獎(jiǎng)2項(xiàng)。發(fā)表SCI檢索論文1996篇,獲得國(guó)家發(fā)明492項(xiàng)。已成為國(guó)家在本領(lǐng)域的科學(xué)研究、人才培養(yǎng)和交流的主要基地之一。
浙江大學(xué)硅材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室儀器配置清單 |
掃描探針顯微鏡 |
周期式脈沖電場(chǎng)激活燒結(jié)系統(tǒng) |
振動(dòng)樣品磁強(qiáng)計(jì) |
針尖增強(qiáng)半導(dǎo)體材料光譜測(cè)試系統(tǒng) |
低維硅材料的原位掃描隧道顯微分析系統(tǒng) |
熱常數(shù)分析儀 |
超高溫井式冷壁氣密罐式爐系統(tǒng) |
角分辨X射線(xiàn)光電子能譜儀 |
原子力顯微鏡 |
熱臺(tái)偏光顯微系統(tǒng) |
近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡 |
光度式橢圓偏振光譜儀 |
高真空熱壓燒結(jié)爐 |
等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法 |
磁控濺射鍍膜系統(tǒng) |
深能級(jí)瞬態(tài)譜儀 |
傅里葉紅外光譜儀 |
微波光電導(dǎo)衰減壽命測(cè)試儀 |
變溫高磁場(chǎng)測(cè)試系統(tǒng) |
同步熱分析儀 |
鑄造爐 |
掃描電子顯微鏡 |
高分辨透射電子顯微鏡 |
除了上述國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,還有新型功率半導(dǎo)體國(guó)家實(shí)驗(yàn)室以及光伏技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室等企業(yè)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。
此外,還有中科院半導(dǎo)體材料科學(xué)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、寬帶隙半導(dǎo)體技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)學(xué)科實(shí)驗(yàn)室、光電材料與技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、發(fā)光材料與器件國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、發(fā)光學(xué)及應(yīng)用國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室等半導(dǎo)體領(lǐng)域相關(guān)的實(shí)驗(yàn)室等。
半導(dǎo)體材料科學(xué)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室儀器配置 |
1. 量子點(diǎn)、量子級(jí)聯(lián)工藝線(xiàn) |
分子束外延生長(zhǎng)系統(tǒng)(MBE) |
掩膜對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī) |
表面輪廓測(cè)量系統(tǒng) |
雙腔室PECVD/電子束蒸發(fā)鍍膜 |
真空蒸發(fā)臺(tái) |
等離子體去膠機(jī) |
精密研磨拋光系統(tǒng) |
快速熱處理設(shè)備 |
高分辨光學(xué)顯微鏡 |
清潔處理濕法腐蝕 |
金絲球焊機(jī) |
高精度粘片機(jī) |
傅立葉變換遠(yuǎn)紅外光譜儀 |
拉曼光譜儀 |
原子力顯微鏡 |
數(shù)字源表(吉時(shí)利2601) |
電化學(xué)CV測(cè)試系統(tǒng) |
2. PIC 工藝線(xiàn) |
儀器設(shè)備 |
MOCVD |
ICP |
PECVD |
光刻機(jī) |
蒸發(fā)臺(tái) |
磁控濺射 |
反應(yīng)離子刻蝕設(shè)備 |
臺(tái)式掃描電子顯微鏡 |
Maping |
微區(qū)熒光光譜儀 |
X射線(xiàn)雙晶衍射 |
高分辨XRD測(cè)試系統(tǒng) |
解理 |
燒結(jié)機(jī) |
鍍銦 |
管芯測(cè)試設(shè)備 |
激光加工機(jī) |
PIC測(cè)試: |
探針座+探針 |
變溫測(cè)試 |
頻譜儀 |
矢量網(wǎng)絡(luò)分析測(cè)試 |
自相關(guān)儀脈沖寬度測(cè)試 |
FROG |
激光線(xiàn)寬測(cè)試 |
Rin測(cè)試 |
遠(yuǎn)場(chǎng)測(cè)試 |
PIV測(cè)試 |
傳輸損耗測(cè)量 |
光纖光譜儀 |
3.GaN基微電子器件工藝線(xiàn) |
MOCVD設(shè)備 |
變溫霍爾測(cè)試系統(tǒng) |
非接觸方塊電阻測(cè)試系統(tǒng) |
臺(tái)階儀 |
表面平整度測(cè)試系統(tǒng) |
光學(xué)顯微鏡 |
高分辨XRD測(cè)試系統(tǒng) |
光電效率測(cè)試系統(tǒng) |
高溫恒溫箱 |
快速退火爐 |
磁控濺射 |
PECVD |
ICP |
光刻系統(tǒng) |
4. 材料生長(zhǎng)與制備工藝線(xiàn) |
磁控濺射 |
離子束濺射 |
CVD系統(tǒng) |
旋涂機(jī)、熱板、快速退火 |
碳化硅外延設(shè)備 |
原子層沉積 |
分子束外延 |
低壓液氮灌裝 |
石墨烯外延爐 |
分子束外延設(shè)備CBE |
快速熱退火爐 |
退火爐 |
MOCVD |
HVPE |
快速退火爐 |
真空烘烤 |
MBE |
MP-CVD |
阻蒸電子束蒸發(fā)聯(lián)合鍍膜機(jī) |
箱式退火爐 |
低維材料生長(zhǎng)、器件制備平臺(tái) |
分子束外延設(shè)備MBE |
5. 材料測(cè)試與表征 |
原子力顯微鏡 |
傅里葉紅外光譜 |
量子效率測(cè)試 |
電池I-V測(cè)試 |
霍爾測(cè)試儀 |
探針臺(tái) |
四探針測(cè)試儀 |
光柵光譜儀 |
變溫測(cè)試臺(tái) |
半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀3000V、500A |
深能級(jí)缺陷測(cè)量系統(tǒng) |
霍爾測(cè)試 |
深紫外光致發(fā)光光譜 |
陰極熒光光譜 |
近紫外-可見(jiàn)-近紅外光致發(fā)光光譜 |
變溫霍爾 |
半導(dǎo)體發(fā)光器件測(cè)試 |
紫外可見(jiàn)分光光度計(jì) |
熒光光譜儀 |
太陽(yáng)能電池I-V測(cè)試系統(tǒng) |
電化學(xué)工作站 |
四探針測(cè)試臺(tái) |
偏振調(diào)制光譜測(cè)試系統(tǒng)(陳涌海) |
微區(qū)RDS測(cè)試系統(tǒng) |
光電流測(cè)試系統(tǒng) |
紅外光柵光譜儀(0.8-5μm) |
激光參數(shù)測(cè)試系統(tǒng) |
傅立葉變換紅外光譜儀 |
傅立葉變換中紅外光譜儀 |
寬帶隙半導(dǎo)體技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)學(xué)科實(shí)驗(yàn)室儀器配置 |
晶片生長(zhǎng)系統(tǒng)MOCVD |
非接觸遷移率測(cè)量系統(tǒng) |
霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng) |
非接觸式方塊電阻測(cè)試儀 |
微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) |
半導(dǎo)體器件分析儀 |
光譜橢偏儀 |
鏡像顯微鏡. |
金屬鍍膜系統(tǒng) |
高分辨X射線(xiàn)衍射儀 |
拉曼光譜儀 |
脈沖激光沉淀系統(tǒng) |
電子束蒸發(fā)臺(tái) |
磁控濺射鍍膜機(jī) |
高速電子束蒸發(fā)臺(tái) |
LED顯微鏡 |
臺(tái)階儀 |
快速熱退火爐 |
等離子去膠機(jī) |
高溫快速退火爐 |
反應(yīng)離子刻蝕 |
等離子增強(qiáng)原子層沉淀系統(tǒng) |
等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積 |
感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī) |
研磨拋光機(jī) |
高低溫烘膠機(jī) |
光刻機(jī) |
接觸式紫外光刻機(jī) |
電子束直寫(xiě)光刻機(jī) |
探針臺(tái) |
半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀 |
微波測(cè)試探針臺(tái) |
DRTS測(cè)試儀 |
掃描式電子顯微鏡 |
微波大功率晶體管老化系統(tǒng) |
微波功率測(cè)試系統(tǒng) |
分子束外延設(shè)備 |
綜合來(lái)看,光刻機(jī)、化學(xué)氣相沉積設(shè)備、電鏡(尤其是掃描電鏡和原子力顯微鏡)、X射線(xiàn)衍射、磁控濺射儀、半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀、能譜儀、探針測(cè)試臺(tái)、刻蝕設(shè)備、光譜測(cè)試設(shè)備、蒸發(fā)鍍膜設(shè)備、橢偏儀、分子束外延設(shè)備等儀器配置頻率較高。
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