半導(dǎo)體器件中的基礎(chǔ)性原材料是晶圓。*純度的半導(dǎo)體經(jīng)過拉晶、切片等工序制備成為晶圓，晶圓經(jīng)過一系列半導(dǎo)體制造工藝形成極微小的電路結(jié)構(gòu)，再經(jīng)過切割、封裝、測試成為芯片，廣泛應(yīng)用到各類電子設(shè)備當(dāng)中。
晶圓表面的電路結(jié)構(gòu)非常復(fù)雜，當(dāng)需要對晶圓樣品的電路圖案和顏色進行微觀觀察時，傳統(tǒng)方法要求前者采用暗場照明，后者采用明場照明，并在這兩種技術(shù)之間反復(fù)切換。這種觀察方法非常耗時，因為創(chuàng)建報告時每種技術(shù)都需要圖像采集。
奧林巴斯解決方案
MX63/MX63L用于半導(dǎo)體/FPD檢查的工業(yè)顯微鏡提供了傳統(tǒng)觀察方法的有效替代方法：MIX照明功能。在混合光照下，可以同時觀察電路圖案和晶圓的顏色信息。混合圖像的清晰度有助于提高工作效率和報告的創(chuàng)建。
薄膜（左：明場 / 右：偏光）
偏光可用于顯示材料的紋理和晶體樣貌。其非常適合檢測晶片和LCD結(jié)構(gòu)。
硬盤（左：明場 / 右：DIC)
微分干涉差(DIC)用于幫助觀察具有細微高度差異的樣品。該技術(shù)非常適合用于檢測諸如磁頭、硬盤介質(zhì)、以及拋光晶片等具有很小高度差的樣品。
半導(dǎo)體晶圓上的集成電路圖形（左：暗場 / 右：MIX（明場 + 暗場）
暗場是檢測標(biāo)本上細微劃痕或缺陷以及晶片等鏡面樣品的理想工具。MIX照明可讓使用者即可觀察圖形也可觀察色彩。
半導(dǎo)體晶片上的光致抗蝕劑殘留物 左：熒光 / 右: MIX（熒光 + 暗場）
熒光觀察適用于使用濾色片立方照明時能夠發(fā)光的樣品。其可用于檢測污染物和光致抗蝕劑殘留物。MIX照明可實現(xiàn)光致抗蝕劑殘留和集成電路圖形的觀察。
半導(dǎo)體晶片上的光致抗蝕劑殘留物 左：熒光 / 右: MIX（熒光 + 暗場）
熒光觀察適用于使用濾色片立方照明時能夠發(fā)光的樣品。其可用于檢測污染物和光致抗蝕劑殘留物。MIX照明可實現(xiàn)光致抗蝕劑殘留和集成電路圖形的觀察。
先進的分析工具
MX63系列的各種觀察功能可生成清晰銳利的圖像，讓用戶能夠?qū)悠愤M行可靠的缺陷檢測。全新照明技術(shù)以及奧林巴斯Stream圖像分析軟件的圖像采集選項為用戶評估樣品和存檔檢測結(jié)果提供更多選擇。
從不可見到可見：MIX觀察與圖像采集
通過將暗場與諸如明場、熒光或偏光等其他觀察方法結(jié)合使用，MIX觀察技術(shù)能夠獲得*的觀察圖像。MIX觀察技術(shù)可讓用戶發(fā)現(xiàn)用傳統(tǒng)顯微鏡難以看到的缺陷。暗場觀察所用的環(huán)形LED照明器具有在時間僅使用四分之一象限的定向暗場功能。該功能可減少樣品光暈，對于樣品表面紋理的可視化非常有用。
輕松生成全景圖像: 即時圖像拼接
利用多圖像拼接(MIA)功能, 用戶移動手動載物臺上的XY旋鈕即可輕松快速完成圖像拼接—電動載物臺無需進行該操作。奧林巴斯Stream軟件利用模式識別生成全景圖像，讓用戶獲得更寬的視場。
生成全聚焦圖像: EFI
奧林巴斯Stream軟件的景深擴展成像(EFI)功能可采集高度超出物鏡焦點深度的樣品圖像，并可將其合成一幅全聚焦圖像。EFI配合手動或電動Z軸調(diào)焦使用，可輕松實現(xiàn)結(jié)構(gòu)可視化的高度圖像。其也可在Stream桌面版(Desktop)離線情況下生成EFI圖像。
利用HDR同時捕捉明亮區(qū)域和暗光區(qū)域
采用先進圖像處理技術(shù)的高動態(tài)范圍(HDR)可在圖像內(nèi)調(diào)整亮度差異，從而減少眩光。HDR改善了數(shù)字圖像的視覺品質(zhì)，從而有助于生成具有專業(yè)級外觀的報告。
從基本測量到高級分析
測量對于品質(zhì)、工藝控制和檢測非常重要?；谶@一想法，即便是入門級奧林巴斯Stream軟件包也融入了交互測量功能的全部菜單，并且所有測量結(jié)果與圖像文件一起保存以便存檔。此外，奧林巴斯Stream材料解決方案可為復(fù)雜圖像分析提供面向工作流的直觀界面。點擊按鈕一下，圖像分析任務(wù)即可快速完成。在大幅度縮減重復(fù)性任務(wù)的處理時間情況下，操作人員可以將精力集中在手邊的檢測工作上。
基本測量(印刷電路板上的圖形)
分散能力解決方案(PCB通孔的橫截面)
自動測量解決方案(晶圓結(jié)構(gòu))
選配晶圓搬送機 — AL120系統(tǒng)
選配的晶圓搬送機可安裝在MX63系列上，實現(xiàn)無需使用鑷子或工具即可安全地將硅片及化合物半導(dǎo)體晶圓從片盒轉(zhuǎn)移到顯微鏡載物臺上。性能和可靠性可實現(xiàn)安全高效的前后宏觀檢測，同時搬送機還可幫助提高實驗室工作效率。
MX63系統(tǒng)與AL120晶圓搬送機結(jié)合使用(200毫米型號)
快速、清潔的檢測
MX63系列可實現(xiàn)無污染的晶圓檢測。所有電動組件均安裝在防護結(jié)構(gòu)殼內(nèi)，顯微鏡鏡架、鏡筒、呼吸防護罩、及其他部件均采用防靜電處理。電動物鏡轉(zhuǎn)換器的轉(zhuǎn)速比手動物鏡轉(zhuǎn)換器更快更安全，縮短檢測間隔時間的同時，讓操作人員的手始終保持在晶圓下方，避免了潛在的污染。
防靜電呼吸防護罩
電動物鏡轉(zhuǎn)換器
接受所有晶圓尺寸
該系統(tǒng)可配合各類150–200毫米和200– 300毫米晶圓支架和玻璃板使用。如果生產(chǎn)線上的晶圓尺寸發(fā)生變化，以很少的成本即可更改顯微鏡鏡架。有了MX63系列，各種載物臺均可用于檢測75毫米、100毫米、125 毫米和150毫米晶圓。
晶圓支架和玻璃板
讓您的大尺寸樣品檢測流程更加順暢
MX 63 和 MX63L 顯微鏡系統(tǒng)具有多種功能，采用符合人體工學(xué)的易用設(shè)計，能夠提供大 300mm 晶圓、平板顯示器、印刷電路板、以及其他大型樣本的高品質(zhì)觀察。該產(chǎn)品采用靈活的模塊設(shè)計，能夠提供適用于多種檢查用途的觀察系統(tǒng)。通過與奧林巴斯 Stream 圖像分析軟件結(jié)合，從觀察到報告生成在內(nèi)的整體檢查過程都變得簡單而流暢。
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